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      DYX-640S自動勻膠顯影機(jī)

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱三河建華高科有限責(zé)任公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/6/16 16:45:24
      • 訪問次數(shù)1251
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      三河建華高科有限責(zé)任公司成立于2003年6月13日,是隸屬公司地四十五研究所的國有控股公司。公司地處北京東燕郊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)海油大街253號,占地100畝;公司現(xiàn)有總資產(chǎn)1.668億元,資產(chǎn)負(fù)債率0.4%,銀行信用等級AA+。三河建華高科有限責(zé)任公司以打造“中國半導(dǎo)體制造設(shè)備的者”為目標(biāo),致力于半導(dǎo)體元器件材料加工和芯片制造及檢測專用設(shè)備的研究開發(fā)與生產(chǎn)制造,傾力建設(shè)華北地區(qū)高精密機(jī)械、光學(xué)、電氣零部件制造中心。公司現(xiàn)有職工230余人,其中各類技術(shù)人員60余人,高級技術(shù)職稱30余人,高級技能以上人才70余人。先后榮獲了國家科技型中小企業(yè)、河北省企業(yè)、科技小巨人、工業(yè)企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)、廊坊市研發(fā)平臺、廊坊市企業(yè)技術(shù)中心、廊坊市專用設(shè)備及精密零部件制造研發(fā)中心等多項榮譽(yù)。經(jīng)過多年的科學(xué)運(yùn)作和生產(chǎn)經(jīng)營,公司規(guī)模逐步壯大,每年的銷售收入呈逐年增長的態(tài)勢,公司固定資產(chǎn)處于增值的良好狀態(tài)。
      該設(shè)備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓勻膠、、顯影、預(yù)烘工藝
      DYX-640S自動勻膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息

      該設(shè)備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓勻膠、、顯影、預(yù)烘工藝。

      主要技術(shù)特點

      采用星型布局形式,結(jié)構(gòu)緊湊,效率高。

      上/下片工位

      鋁制標(biāo)準(zhǔn)晶圓片盒,不變形、易轉(zhuǎn)片。

      雙臂機(jī)械手

      選用進(jìn)口多關(guān)節(jié)雙臂機(jī)械手,不僅具有較高的剛度、靈活性,而且傳輸速度快,定位精度高。

      勻膠單元

      勻膠腔采用進(jìn)口PP材料制成,主軸電機(jī)采用進(jìn)口定制的中空軸交流無刷伺服電機(jī),保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高,重復(fù)性、穩(wěn)定性好。

      顯影單元

      顯影腔特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計可實現(xiàn)廢液收集、氣流控制等功能,使顯影工藝條件達(dá)到。

      冷/熱板單元

      冷板/熱板單元是對晶圓進(jìn)行預(yù)烘及冷卻處理,晶圓與盤體為非直接接觸方式,溫度穩(wěn)定、精度高。

      主要技術(shù)指標(biāo)

      晶圓尺寸:4″、6″

      機(jī)械手:1套

      勻膠單元:2套

      顯影單元:2套

      主軸轉(zhuǎn)速:0~6000rpm,最小調(diào)整量:1rpm

      轉(zhuǎn)速精度:±1rpm(50~5000rpm)

      主軸加速度:100~20000rpm/sec

      膠液數(shù)量:2路

      背洗功能:可選

      去邊功能:可選

      光刻膠供給:精密膠泵

      光刻膠供給量:1~10ml

      光刻膠供給精度:±0.1ml

      光刻膠粘度:≤1000Cp

      光刻膠過濾:可選

      顯影液數(shù)量:2路

      噴嘴形式:柱狀或H型

      供液方式:不銹鋼壓力罐

      背洗功能:有(純水)

      熱板數(shù)量:≤9套

      溫度范圍:室溫~180℃

      最小調(diào)整量:0.1℃

      加熱方式:云母加熱片加熱

      溫度均勻性:±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃

      增粘模塊:可選

      冷板數(shù)量:≤3套

      冷卻方式:廠務(wù)冷卻水循環(huán)冷卻

      水溫范圍:18℃~30℃

      外形尺寸:L1950mm×W1700mm×H1900mm

      重量:1800Kg

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