該設(shè)備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓勻膠、、顯影、預(yù)烘工藝。
主要技術(shù)特點

采用星型布局形式,結(jié)構(gòu)緊湊,效率高。

上/下片工位
鋁制標(biāo)準(zhǔn)晶圓片盒,不變形、易轉(zhuǎn)片。

雙臂機(jī)械手
選用進(jìn)口多關(guān)節(jié)雙臂機(jī)械手,不僅具有較高的剛度、靈活性,而且傳輸速度快,定位精度高。

勻膠單元
勻膠腔采用進(jìn)口PP材料制成,主軸電機(jī)采用進(jìn)口定制的中空軸交流無刷伺服電機(jī),保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高,重復(fù)性、穩(wěn)定性好。

顯影單元
顯影腔特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計可實現(xiàn)廢液收集、氣流控制等功能,使顯影工藝條件達(dá)到。

冷/熱板單元
冷板/熱板單元是對晶圓進(jìn)行預(yù)烘及冷卻處理,晶圓與盤體為非直接接觸方式,溫度穩(wěn)定、精度高。
主要技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸:4″、6″
機(jī)械手:1套
勻膠單元:2套
顯影單元:2套
主軸轉(zhuǎn)速:0~6000rpm,最小調(diào)整量:1rpm
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm(50~5000rpm)
主軸加速度:100~20000rpm/sec
膠液數(shù)量:2路
背洗功能:可選
去邊功能:可選
光刻膠供給:精密膠泵
光刻膠供給量:1~10ml
光刻膠供給精度:±0.1ml
光刻膠粘度:≤1000Cp
光刻膠過濾:可選
顯影液數(shù)量:2路
噴嘴形式:柱狀或H型
供液方式:不銹鋼壓力罐
背洗功能:有(純水)
熱板數(shù)量:≤9套
溫度范圍:室溫~180℃
最小調(diào)整量:0.1℃
加熱方式:云母加熱片加熱
溫度均勻性:±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃
增粘模塊:可選
冷板數(shù)量:≤3套
冷卻方式:廠務(wù)冷卻水循環(huán)冷卻
水溫范圍:18℃~30℃
外形尺寸:L1950mm×W1700mm×H1900mm
重量:1800Kg