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BG-408雙工位曝光機

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱三河建華高科有限責(zé)任公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/7/8 11:21:30
訪問次數(shù)199

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公司介紹主營產(chǎn)品

三河建華高科有限責(zé)任公司成立于2003年6月13日，是隸屬公司地四十五研究所的國有控股公司。公司地處北京東燕郊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)海油大街253號，占地100畝；公司現(xiàn)有總資產(chǎn)1.668億元，資產(chǎn)負債率0.4%，銀行信用等級AA+。三河建華高科有限責(zé)任公司以打造“中國半導(dǎo)體制造設(shè)備的者”為目標(biāo)，致力于半導(dǎo)體元器件材料加工和芯片制造及檢測專用設(shè)備的研究開發(fā)與生產(chǎn)制造，傾力建設(shè)華北地區(qū)高精密機械、光學(xué)、電氣零部件制造中心。公司現(xiàn)有職工230余人，其中各類技術(shù)人員60余人，高級技術(shù)職稱30余人，高級技能以上人才70余人。先后榮獲了國家科技型中小企業(yè)、河北省企業(yè)、科技小巨人、工業(yè)企業(yè)研發(fā)機構(gòu)、廊坊市研發(fā)平臺、廊坊市企業(yè)技術(shù)中心、廊坊市專用設(shè)備及精密零部件制造研發(fā)中心等多項榮譽。經(jīng)過多年的科學(xué)運作和生產(chǎn)經(jīng)營，公司規(guī)模逐步壯大，每年的銷售收入呈逐年增長的態(tài)勢，公司固定資產(chǎn)處于增值的良好狀態(tài)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

該設(shè)備為全自動曝光設(shè)備，主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光

BG-408雙工位曝光機產(chǎn)品信息

該設(shè)備為全自動曝光設(shè)備，主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品自動完成基片的傳輸、對準(zhǔn)與曝光工藝，操作方便、生產(chǎn)效率高、穩(wěn)定性高。

主要技術(shù)特點

對準(zhǔn)工作臺

雙工位工作臺由X、Y、θ、Z向四維精密電機機構(gòu)組成，可實現(xiàn)間隙找平與曝光，在接觸模式可實現(xiàn)真空復(fù)印，板架有防掩摸版脫落機構(gòu)。

傳輸系統(tǒng)

傳輸系統(tǒng)實現(xiàn)了上片盒、預(yù)對準(zhǔn)、對準(zhǔn)工作臺、收片盒四個工位二維并行傳輸，限度減少了傳輸?shù)臅r間，提高了整機工作效率。

預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)

預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)采用機械式錐桶定心，使得預(yù)對準(zhǔn)定心更方便和可靠。

控制系統(tǒng)

采用工業(yè)計算機總線系統(tǒng)，人機交互界面簡潔直觀，操作方便,同時提供個性化服務(wù)。

主要技術(shù)指標(biāo)

性能名稱				技術(shù)指標(biāo)
基片尺寸				φ100mm
掩模尺寸				125mm×125mm
曝光范圍（紫外光源）				φ110mm
硅片或襯底厚度				0.2～1.1mm
生產(chǎn)效率				260片/小時（一次曝光，曝光時間3s）
工作臺		X向、Y向行程		±5mm
		Z行程		28mm
		θ向		±5°
		對準(zhǔn)精度		5μm
曝光系統(tǒng)		曝光分辨率		2μm（接觸曝光，正膠膠厚1um）
		不均勻性		±3%
		光強（1000W汞燈）		≥40mW/cm²
對準(zhǔn) 顯微鏡		總放大倍率：160×		物鏡3×
		物鏡分離量		60～110 mm
預(yù)對準(zhǔn)顯微鏡	掃正倍率：50×			物鏡1×
	掃正物鏡			固定
	尋邊倍率：160×			物鏡3×
	尋邊物鏡分離量			0～10mm
外形尺寸			1500mm×2200mm×2000mm
重量			1500kg
整機功率			2000W