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用于過程監(jiān)測(cè)和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備
德國(guó)普發(fā)真空pfeiffer vacuum氣體質(zhì)譜儀HiQuad™，QMG 700
普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測(cè)定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng)，在我們這里您將會(huì)找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPlus/Pro 是一個(gè)普遍適用的質(zhì)譜儀，其磁場(chǎng)軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測(cè)量速度快的特點(diǎn)。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測(cè)總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì)，模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外，在研發(fā)領(lǐng)域也有無數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然，普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件，例如各種離子源陰極。
什么是質(zhì)譜儀
質(zhì)譜測(cè)量是一種可以用來測(cè)量原子和分子質(zhì)量的方法。通過這種方式測(cè)量化學(xué)混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場(chǎng)使離子加速，使得它們?cè)谄涓髯缘馁|(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測(cè)定氣體各種成分的分壓。每個(gè)質(zhì)譜儀包括一個(gè)離子源、一個(gè)質(zhì)量過濾器和一個(gè)檢測(cè)器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過濾器來區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng)，四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測(cè)量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。
質(zhì)譜儀及其應(yīng)用
四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿，構(gòu)成了四極場(chǎng)。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個(gè)場(chǎng)（因此命名為四極）。靜態(tài)電場(chǎng)使離子加速以后，離子飛過四極場(chǎng)。桿之間的四極場(chǎng)每次只會(huì)允許給定質(zhì)量的一個(gè)粒子通過，。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡(jiǎn)易版兩種型號(hào)供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。
HiQuad™，QMG 700，具有 QMA 410，16 mm 鉬棒系統(tǒng)
具有用戶友好 Quadera®軟件的 HiQuad 質(zhì)譜儀系統(tǒng)。帶 HiQuad 控制器、高頻發(fā)電機(jī)和配 16-mm-Mo 穩(wěn)定系統(tǒng)以及 90°-off-axis 次級(jí)電子倍增器的分析儀 QMA 410 的規(guī)格
產(chǎn)品描述
靈敏度和大動(dòng)態(tài)范圍
杰出長(zhǎng)期穩(wěn)定性
測(cè)量速度
Z佳分辨率、質(zhì)量分離和傳輸
產(chǎn)品
HiQuad™，QMG 700，具有 QMA 410, 1-128 amu
HiQuad™，QMG 700，具有 QMA 410, 1-128 amu
模塊化結(jié)構(gòu)的 HiQuad 質(zhì)譜儀可適合您的使用。有離子源和離子光學(xué)機(jī)構(gòu)可供選擇：軸向離子源、格柵離子源、交叉臂離子源，不帶和帶磁鐵，氣密交叉臂離子源，離子光學(xué)機(jī)構(gòu)，2 或 3 透鏡，不帶和帶交叉臂離子源。長(zhǎng)絲材料：鎢，釔銥，錸控制輸入/輸出模塊 IO 700，通過模擬式和數(shù)字式輸入端/輸出端的信號(hào)交換
產(chǎn)品描述
適用于Z佳分辨率和靈敏度的質(zhì)量范圍 1-128 amu
測(cè)量速度
杰出長(zhǎng)期穩(wěn)定性
內(nèi)置互聯(lián)網(wǎng)瀏覽器和用于與計(jì)算機(jī)程序通訊的 OPC 服務(wù)器
產(chǎn)品
HiQuad™ 具有 QMA 410，1-128 amu，具有帶磁鐵的交叉束離子源 (PT Q12 031 110)
HiQuad™ 具有 QMA 410，1-128 amu，具有帶磁鐵的交叉束離子源
概述
HiQuad 質(zhì)譜儀
測(cè)量速度，動(dòng)態(tài)范圍大，靈敏度和杰出長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
偏置離子源形成的低背景信號(hào)，場(chǎng)軸技術(shù)形成的低探測(cè)界限
Quadera®軟件用以簡(jiǎn)單和明了的操作和顯示
借助集成的矩陣計(jì)算確定氣體濃度
技術(shù)參數(shù)
| MID 中的測(cè)量通道的數(shù)量 | 128 件 |
| 供應(yīng): 電壓 | 100 – 240 V AC |
| 分壓比 帶 SEV | < 0.3 ppb |
| 分析儀 | QMA 410 |
| 分辨率，10% 峰值高度時(shí)可調(diào)節(jié) | 0.2 - 2.2 u |
| 前置放大器 | EP 422 |
| 加熱溫度：分析儀 | 400 攝氏度 |
| 對(duì) Ar 的靈敏度：法拉第 | 1 · 10-3 A/hPa |
| 峰值比的可再現(xiàn)性 | < 0.1 % |
| 工作溫度：分析儀 | 150 攝氏度 |
| 工作溫度：電氣設(shè)備 | 5 – 40 攝氏度 |
| 探測(cè)器 | SEV 217/Faraday |
| 接口 | 以太網(wǎng) |
| Z大工作壓力：SEM | 1 · 10-5 百帕 |
| Z大工作壓力：法拉第 | 1 · 10-4 百帕 |
| 桿系統(tǒng)：材料 | 鉬 |
| 桿系統(tǒng)：直徑 | 16 毫米 |
| 桿系統(tǒng)：長(zhǎng)度 | 300 毫米 |
| 檢測(cè)限 | 5 · 10-16 百帕 |
| 測(cè)量速度：MID | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 測(cè)量速度：掃描條形圖 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 測(cè)量速度：模擬掃描 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 溫度：儲(chǔ)存 | -20 – 60 攝氏度 |
| 離子源 | 交叉臂，2 陰極，配導(dǎo)向磁鐵 |
| 離子源供電 | IS 716 |
| 質(zhì)量范圍 | 1 – 128 u |
| 軟件 | Quadera® |
| 輸入數(shù)字 | RUN-In, TTL, 測(cè)量循環(huán)啟動(dòng) Ext._Protection, 外部觸點(diǎn) |
| 輸入模擬 | 2 x ± 10 V |
| 輸出：數(shù)字 | 2 x TTL-Output SYNC-Out, TTL (Trigger) |
| 輸出：模擬 | 2 x ± 10 V, 12 位 靜電計(jì)輸出端 (EP) |
| 連接法蘭（入口） | DN 100 CF-F |
| 陰極 | 鎢 |
| 高壓供電 | HV 701 |
| 高頻發(fā)電機(jī) | QMH 400-1 |
尺寸
A
軸向離子源 = 26 mm 格柵離子源 = 27 mm
