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用于過(guò)程監(jiān)測(cè)和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備
德國(guó)普發(fā)真空pfeiffer vacuum 超高真空殘余氣體分析儀器PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開(kāi)放式離子源, 鎢, I/O
普發(fā)真空為真空處理過(guò)程中的氣體測(cè)定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng)，在我們這里您將會(huì)找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPlus/Pro 是一個(gè)普遍適用的質(zhì)譜儀，其磁場(chǎng)軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測(cè)量速度快的特點(diǎn)。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測(cè)總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì)，模塊化結(jié)構(gòu)和用戶(hù)友好軟件 使其成為泄漏檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外，在研發(fā)領(lǐng)域也有無(wú)數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶(hù)在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然，普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件，例如各種離子源陰極。
什么是質(zhì)譜儀
質(zhì)譜測(cè)量是一種可以用來(lái)測(cè)量原子和分子質(zhì)量的方法。通過(guò)這種方式測(cè)量化學(xué)混合物成分的分壓來(lái)分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場(chǎng)使離子加速，使得它們?cè)谄涓髯缘馁|(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類(lèi)和分離。然后測(cè)定氣體各種成分的分壓。每個(gè)質(zhì)譜儀包括一個(gè)離子源、一個(gè)質(zhì)量過(guò)濾器和一個(gè)檢測(cè)器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過(guò)濾器來(lái)區(qū)分不同類(lèi)型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng)，四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測(cè)量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。
質(zhì)譜儀及其應(yīng)用
四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿，構(gòu)成了四極場(chǎng)。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線(xiàn)，形成一個(gè)場(chǎng)（因此命名為四極）。靜態(tài)電場(chǎng)使離子加速以后，離子飛過(guò)四極場(chǎng)。桿之間的四極場(chǎng)每次只會(huì)允許給定質(zhì)量的一個(gè)粒子通過(guò)，。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡(jiǎn)易版兩種型號(hào)供用戶(hù)用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類(lèi)質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。
超高真空中的殘余氣體分析
帶有二級(jí)電子倍增器的四極桿質(zhì)譜儀，為超高真空室內(nèi)的氣體成分定性分析提供Z大的檢測(cè)靈敏度。
對(duì)于高真空下的殘余氣體分析，必須只檢測(cè)到極少量的氣體。普發(fā)真空殘余氣體分析儀里的二級(jí)電子倍增器因此保證了四極質(zhì)量過(guò)濾器提供的小型離子電流較高的放大率。所有使用的材料都經(jīng)過(guò)精心挑選，用于超高真空并能承受較高的烘烤溫度。
一些離子源可用于不同的應(yīng)用，包括具有極低釋氣速率的柵網(wǎng)離子源。
PrismaPro® QMG 250 M1, 1-100 amu
模塊化結(jié)構(gòu)的緊湊型質(zhì)譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇：具有靈敏度和線(xiàn)性的開(kāi)放式離子源，適用于殘余氣體分析和 HV 與真空范圍內(nèi)分析性任務(wù)。適用于與進(jìn)氣系統(tǒng)接合的氣密離子源。適用于直接進(jìn)氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對(duì)真空內(nèi)殘余氣體分析，具有極低脫氣率和解吸率。
PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開(kāi)放式離子源
PrismaPro 緊湊型質(zhì)譜儀
針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示
點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷
測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單
指示極限低
網(wǎng)絡(luò)通過(guò)以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)
| 陰極 | 加熱溫度：分析儀 [攝氏度] | 連接 | E/A 接口 | 訂單號(hào) |
|---|---|---|---|---|
| 鎢 | 300 | 0° | PT M16 111 210 | |
| 鎢 | 300 | 0° | PT M16 111 211 | |
| 釔銥 | 300 | 0° | PT M16 112 210 | |
| 釔銥 | 300 | 0° | PT M16 112 211 |
PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開(kāi)放式離子源, 鎢, I/O 選項(xiàng): 標(biāo)準(zhǔn)
概述
針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示
點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷
測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單
指示極限低
技術(shù)參數(shù)
| 供應(yīng): 電壓 | 100 – 240 V AC |
| 分辨率，10% 峰值高度時(shí)可調(diào)節(jié) | 0.5 - 2.5 u |
| 加熱溫度：分析儀 | 300 攝氏度 |
| 安裝方向 | 任意 |
| 對(duì) Ar 的靈敏度：法拉第 | 5 · 10-4 A/hPa |
| 對(duì)于相鄰物體的輸入：40 比 41 | 10 百萬(wàn)分率 |
| 峰值比的可再現(xiàn)性 | 0.5 % |
| 工作溫度：分析儀 | 150 攝氏度 |
| 工作溫度：電氣設(shè)備 | 5 – 50 攝氏度 |
| 探測(cè)器 | C-SEM/Faraday |
| 接口 | Ethernet |
| Z大工作壓力：C-SEM | 5 · 10-5 百帕 |
| Z大工作壓力：法拉第 | 5 · 10-4 百帕 |
| 桿系統(tǒng)：直徑 | 6 毫米 |
| 桿系統(tǒng)：長(zhǎng)度 | 125 毫米 |
| 檢測(cè)極限：C-SEM (hPa) | 3 · 10-15 百帕 |
| 溫度：儲(chǔ)存 | -25 – 70 攝氏度 |
| 離子源 | 開(kāi)，2 陰極 |
| 繼電器：數(shù)量 | 1 件 |
| 質(zhì)量范圍 | 1 – 100 u |
| 輸入數(shù)字 | 2x, 24 V |
| 輸入模擬 | 1x ± 10 V / 12 Bit |
| 連接 | 0° |
| 連接法蘭（入口） | DN 40 CF-F |
| 重量 | 3.2 千克 |
| 陰極 | 鎢 |
尺寸
