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首昂光電(上海)有限公司
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所 在 地上海市
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更新時間:2023-10-01 08:59:30瀏覽次數(shù):249次
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產(chǎn)品介紹:1)廣角輪廓相機(jī),進(jìn)行輪廓識別,自動校正硅片角度;2)高精度CCD相機(jī),進(jìn)行全自動水平修正及位置修正;3)壓力可控,實(shí)時顯示壓力數(shù)值;4)自動覆膜、噴液、放片;5)帶連片檢測功能,無連片;6)可兼容4英寸、5英寸的晶圓片;7)全自動上下料功能,無人值守式全自動運(yùn)行(料盒方式,整盒上下料),產(chǎn)品批量化生產(chǎn)
產(chǎn)品介紹:
1)廣角輪廓相機(jī),進(jìn)行輪廓識別,自動校正硅片角度;
2)高精度CCD相機(jī),進(jìn)行全自動水平修正及位置修正;
3)壓力可控,實(shí)時顯示壓力數(shù)值;
4)自動覆膜、噴液、放片;
5)帶連片檢測功能,無連片;
6)可兼容4英寸、5英寸的晶圓片;
7)全自動上下料功能,無人值守式全自動運(yùn)行(料盒方式,整盒上下料),產(chǎn)品批量化生產(chǎn)。
設(shè)備型號 MSW-WSU-A
控制方式 PLC+觸摸屏+電腦主機(jī)
對位方式 相機(jī)識別自動對位
傳送方式 伺服電機(jī)
裂片力度 壓力傳感器(壓力大小可調(diào))
噴液噴頭 霧狀噴頭
故障處理 各個故障都帶報警提示功能
端口 預(yù)留MES端口
加工定位方式 自動上下料&自動對位
效率(裂片) >120片/h
適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的GPP晶圓的裂片。
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