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廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間:2023-10-01 08:46:34瀏覽次數(shù):103次
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產(chǎn)品介紹:1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護
產(chǎn)品介紹:
1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護。
2)傳動方式通過皮帶傳片(86式),手臂傳片(88式)。
3)主軸使用高速伺服電機,帶數(shù)字顯示,精確控制轉(zhuǎn)速。
4)噴淋顯影兩路液罐,一路氮氣。也可由客戶工藝配置液路和氣路。
轉(zhuǎn)速 6000RPM
轉(zhuǎn)速精準度 ≤1-4%RPM
勻膠 滴膠手臂控制 步進馬達
滴膠頭位置精準 ≤0.2mm
該設(shè)備為全自動上下料勻膠設(shè)備,主要應(yīng)用于3-6寸晶圓噴淋顯影定影工藝,采用標準片盒收放片,自動運行。該設(shè)備為雙軌道形式。
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