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首昂光電(上海)有限公司
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更新時間:2023-10-01 08:44:51瀏覽次數(shù):118次
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臥式甩干機(jī)SA-SV702-C為本公司針對(含)6"以下制程之需求,使用自制電機(jī),參照美規(guī)設(shè)計(jì)之全新旋干機(jī),采垂直式放置晶片,并可控制0.3微塵顆粒量20粒,其主要三大功能為清洗,高速脫水,低速烘干
臥式甩干機(jī)SA-SV702-C
為本公司針對(含)6"以下制程之需求,使用自制電機(jī),參照美規(guī)設(shè)計(jì)之全新旋干機(jī),采垂直式放置晶片,并可控制0.3微塵顆粒量20粒,其主要三大功能為清洗,高速脫水,低速烘干。
1、設(shè)備用于6英寸硅片甩干工藝。
2、每批處理晶圓數(shù)量為50,25片/腔體。
3、甩干機(jī)為上下雙工藝腔體設(shè)計(jì),腔室內(nèi)采用不銹鋼。
4、轉(zhuǎn)子的動平衡為片盒中的硅片從0~25片。
5、轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。
6、顆粒度增加值<20 (0.3 um) 。
用于4寸~6寸晶片的清洗甩干,能根據(jù)客戶要求定制。
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