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      首昂光電（上海）有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      臥式甩干機(jī)SA-SV702-D
      
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      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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      聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-10-01 08:43:44瀏覽次數(shù)：151次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：29條
      
						
      所在地區(qū)：上海上海市
      
						
      聯(lián)系人：李經(jīng)理
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      臥式甩干機(jī)SA-SV702-D為本公司針對(duì)4~6"制程之需求，可控制0.3微塵顆粒70顆，其功能主要有清洗，高速脫水，低速烘干
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                 
                               
                                   
      臥式甩干機(jī)SA-SV702-D
      為本公司針對(duì)4~6"制程之需求，可控制0.3微塵顆粒70顆，其功能主要有清洗，高速脫水，低速烘干。

                              
                               
                                   
      技術(shù)參數(shù)：
      1、設(shè)備用于4~6英寸硅片甩干工藝。
      2、每批處理晶圓數(shù)量為50片,25片/腔體。
      3、甩干機(jī)為上下雙工藝腔體設(shè)計(jì)，腔室內(nèi)部為不銹鋼，特殊工藝可依據(jù)客戶要求鍍特氟龍防腐鍍層。
      4、轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡為片盒中的硅片從0～25片。
      5、建議轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。 
      6、顆粒度增加值<70 (0.3 um) ； 甩干后表面無(wú)水漬、無(wú)污染物。
                              
                               
                                   
      用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根據(jù)客戶定制各種規(guī)格。
                              
                           
                       
			        
      
			    
      
                                                				
      
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