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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      德?lián)P光電有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      全自動光罩對準(zhǔn)曝光機
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2023-06-19 20:01:10瀏覽次數(shù)：170次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：6條
      
						
      所在地區(qū)：
      
																		
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品簡介： 全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出， 自動對位曝光，可一天24小時操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產(chǎn)量， 本公司開發(fā)之高產(chǎn)量全自動曝光機， 對位制程每小時可產(chǎn)出250片以， 無對位制程每小時可產(chǎn)出350片以上， 產(chǎn)量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機型。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                  
               
                           
                                    
                
                    
       
      全自動光罩對準(zhǔn)曝光機
        
      適合工業(yè)界24小時量產(chǎn)使用 
        
      產(chǎn)品簡介： 
       
      全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出， 自動對位曝光，可一天24小時操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產(chǎn)量， 本公司開發(fā)之高產(chǎn)量全自動曝光機， 對位制程每小時可產(chǎn)出250片以， 無對位制程每小時可產(chǎn)出350片以上， 產(chǎn)量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機型。
       
              
           
            
               
      曝光燈源
       
      紫外光源機型有功率 : 350W，500W，1000W，2000W，3500W，5000W 。
       
      曝光光源尺寸 : 4″，6″，8″，10″，12″ 。
       
      波長 : NUV(含365nm，400nm，435nm)，光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口徑) 。
       
      均勻度: +-3~5%，高壓汞燈泡及電源供應(yīng)器。
       
       
      影像系統(tǒng)
       
      采用固定倍率鏡頭， 預(yù)對臺一支或兩支鏡頭做粗定位， 進(jìn)片位置兩支鏡頭做初步對位， 曝光位置兩支鏡頭做精密對位。
       
      相機可采類比或數(shù)位，可使用百萬晝素相機， 由PC之客制化對位軟體，做影像自動對位。
       
      影像打光有 : LED同軸光或環(huán)形光， 可選背面對準(zhǔn)影像系統(tǒng)機型。
       
       
      預(yù)對臺
       
      可將來自輸入臺的基板作靠邊粗定位， 以便進(jìn)片手臂送至對準(zhǔn)臺做精密對準(zhǔn)。
       
       
      輸出入小手臂
       
      左手小手臂可輸入預(yù)對臺上之基板至對準(zhǔn)臺, 與取出曝光后之基板至輸出臺。
       
       
      基板輸入和輸出臺
       
      晶舟輸入臺由基板推入器將基板傳至預(yù)對臺.曝光后的基板， 由導(dǎo)出臺傳至輸出臺之晶舟，未完成之基本移至退片臺。
       
       
      自動對準(zhǔn)臺
       
      光罩真空吸盤 : 上吸式或下吸式 4″， 5″，6″，9″ 。
       
      晶圓真空吸盤 : 2″， 4″， 6″，8″ 具光罩晶圓水平校正功能。
       
      曝光模式可選 : 真空接觸式與近接式， X，Y，T軸馬達(dá)調(diào)整 10mm，解析度 1um， Z軸馬達(dá)調(diào)整 5mm，解析度 1um，
       
      上光罩開啟以取放基板， 自動對準(zhǔn)動作依自動對準(zhǔn)軟體計算結(jié)果由PLC控制調(diào)整。
       
       
      操作系統(tǒng)
       
      PLC及人機界面控制系統(tǒng)和工業(yè)電腦之自動對準(zhǔn)軟體， 作基板輸出入及對準(zhǔn)曝光程序自動操作。
       
       
      機座
       
      具四個防震氣墊，具調(diào)整腳及移動輪， 鋁擠型機架加鋁板及黃色PVC抗靜電包覆機臺， 開數(shù)個操作與維修門窗及視窗。
       
       
      性能
       
      產(chǎn)量依對位精度及曝光時間而不同， 近接曝光機型可達(dá)每分鐘 5片，
       
      采真空接觸曝光圖形解析可達(dá) 1um以內(nèi)， 采近接式曝光依晶圓與光罩間距設(shè)定約在 5~10um。
       
           
            
                   
        
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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