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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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所 在 地蘇州市
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更新時間:2023-08-11 16:10:23瀏覽次數(shù):281次
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微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點(diǎn),中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前的LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調(diào)...
1. 產(chǎn)品簡介:
微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點(diǎn),中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前最*的LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板,外觀比較傳統(tǒng)光刻機(jī)體積更小,集成化度更高,不僅簡化了操作流程,還進(jìn)一步提高了工藝效率。
不僅如此,我們還對曝光系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設(shè)計(jì)值與實(shí)際值一致,從而為芯片制作保駕護(hù)航。
以下是客戶實(shí)測圖片,結(jié)構(gòu)高度92um,間距20um,請參考!
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