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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      天津市科器高新技術(shù)有限公司


      VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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      更新時(shí)間:2022-12-10 11:23:30瀏覽次數(shù):297次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式

      詳細(xì)介紹

      VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

      技術(shù)參數(shù)

      輸入功率

      • 110V / 220V 通用
      • < 2000W (含真空泵)

      輸出功率

      • 1600VDC
      • 電流50mA

      樣品室

      石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

      加熱樣品臺(tái)

      • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
      • 基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C
      • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-1°C

      控制面板

      • 控制面板為PLC6" 觸摸屏
      • 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 基片加熱溫度

      可選

      • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
      • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內(nèi))
      • Vapor trap eliminates the oil mist
      • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
      • 高純度金箔靶
      • 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個(gè)我們不提供)

      進(jìn)氣口

      一個(gè)針閥安裝進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層



      靶材

      標(biāo)配靶材分別有

      • 金,銀,銅 靶材:
      • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
      • 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、
        Pt , Ag target , Zinc tarhet

      外形尺寸

      • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
      • 凈重:50KG

      質(zhì)保期

      一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,終身維護(hù)。

      質(zhì)量認(rèn)證

      Certified

      關(guān)鍵詞:觸摸屏 PID 旋片式真空泵
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