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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      天津市科器高新技術(shù)有限公司


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      GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等離子濺射儀

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:銷售部查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-12-10 11:20:20瀏覽次數(shù):358次

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      產(chǎn)品簡介

      GSL-1100X-SPC-16M是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀,采用雙旋片機械泵進行抽真空

      詳細(xì)介紹

      GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀,采用雙旋片機械泵進行抽真空。 一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,,這將提供強有力的濺射能源,產(chǎn)生更好和更快的涂層,特別適用于金屬靶材,比如鋁,鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統(tǒng)。

      技術(shù)參數(shù)

      工作電壓

      110V or 220V 50/60 Hz

      輸出功率

      < 2000W (包含真空泵)

      輸出電壓

      • 1600VDC
      • 電流:50mA

      樣品室

      石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

      樣品載物臺

      • 一個外徑50 mm 樣品載物臺
      • 濺射面積: 45 mm




      配件包括

      • 儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機械泵,可使反應(yīng)腔體真空度達到10-2 torr
      • 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接
      • 可以選購一個循環(huán)水冷機16L/min

      可通入氣體

      通過針閥通入氬氣,能實現(xiàn)更好的等離子涂層

      靶材

      • 標(biāo)配靶材:
      • 包含:Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
      • 可選靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
        Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

      外形尺寸

      L360mm x W300mm x H380mm

      重量

      50 kg

      質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

      一年質(zhì)保期,終身維護

      CE Certified

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