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天津市科器高新技術(shù)有限公司
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更新時間:2022-12-10 11:22:04瀏覽次數(shù):271次
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GSL1100X-SPC16-3等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)
GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)。本機(jī)是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的,、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個真空室內(nèi)設(shè)計安裝了三個靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備,及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
技術(shù)參數(shù)
電源電壓 | 220V , 50/60 Hz |
輸出功率 |
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輸出電壓(DC) | 1600V |
樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
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配件 |
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可通入氣體 |
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| 標(biāo)配靶材:
可選靶材
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設(shè)備特點(diǎn) |
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外形尺寸 | 400mm × 300mm × 400mm(L×W×H) |
凈重 | 50 kg |
質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù) |
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