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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      天津市科器高新技術(shù)有限公司


      GSL-1100X-SPC16-3 3靶等離子濺射儀

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

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      更新時間:2022-12-10 11:22:04瀏覽次數(shù):271次

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      產(chǎn)品簡介

      GSL1100X-SPC16-3等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)

      詳細(xì)介紹

      GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)。本機(jī)是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的,、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個真空室內(nèi)設(shè)計安裝了三個靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備,及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

      技術(shù)參數(shù)

      電源電壓

      220V , 50/60 Hz

      輸出功率

      • < 2000W (including pump)
      • 離子電流表:電流:50mA 定時器:最長時間900s

      輸出電壓(DC)

      1600V

      樣品室

      石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height


      樣品載物臺

      • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
      • 濺射面積: 45 mm

      配件

      • 120 L/m的雙旋片式機(jī)械真空泵,進(jìn)行抽真空
      • 進(jìn)氣口處安裝有儲氣球,防止泵油的回流,排氣口安裝有立式油污過濾器,可以過濾真空泵在工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,和保護(hù)環(huán)境,和人體健康
      • 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
      • 高純度金箔靶
      • 系統(tǒng)需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶,但我們不提供

      可通入氣體

      • 多種 氣壓:-1600-3000DCV
      • 微型真空氣閥:可連接Φ3mm軟管





      靶材

      標(biāo)配靶材:

      • Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
      • Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
      • Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

      可選靶材

      • Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
      • Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
      • Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

      設(shè)備特點(diǎn)

      • 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);
      • 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果;
      • 特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象;
      • 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;
      • 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

      外形尺寸

      400mm × 300mm × 400mmL×W×H

      凈重

      50 kg

      質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

      一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

      關(guān)鍵詞:電流表 定時器 控制器
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