advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢
重復(fù)定位精度高
機(jī)械手重復(fù)定位精度在±0.1mm以內(nèi)毫托級別真空度
整機(jī)平臺可以達(dá)到毫托級別真空度并保證漏率合格狀態(tài)切換迅速、穩(wěn)定
進(jìn)/出料腔室可以迅速并穩(wěn)定的進(jìn)行真空與大氣狀態(tài)的切換動(dòng)作迅速、穩(wěn)定
機(jī)械手每個(gè)取/放動(dòng)作都可以在5秒之內(nèi)完成，動(dòng)作迅速、穩(wěn)定高精度的位置輸入
內(nèi)置的預(yù)對準(zhǔn)機(jī)可以保證每次晶圓在進(jìn)入客戶端的時(shí)候有一個(gè)高精度的位置輸入多檢測傳感器
平臺配有多個(gè)檢測傳感器檢測傳輸過程是否正常
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體晶圓傳輸
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
真空度
5mTorr
-
漏率
2mTorr/min
-
傳輸重復(fù)定位精度
±0.1mm
-
預(yù)對準(zhǔn)位置精度
±0.1mm
-
預(yù)對準(zhǔn)角度精度
±0.2°
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