advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢
手臂結(jié)構(gòu)
增強手臂剛性，抑制振動改進本體制造工藝
降低成本，競爭力強個性化設(shè)計
用戶可定制手指及接口高潔凈度
優(yōu)選材料、加工以及表面處理肘部、腕部靈活
任意姿勢取放晶圓，節(jié)省空間，適應性強多重安全保護
軟件控制系統(tǒng)，防止碰撞質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命
Application areas
產(chǎn)品應用領(lǐng)域
硅晶圓搬運
LED藍寶石基片搬運
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
結(jié)構(gòu)形式
柱坐標型/SCARA型
-
負載-名稱
晶圓
-
負載-直徑
φ200mm/φ300mm
-
負載-重量
≤0.5kg
-
自由度數(shù)
3
-
回轉(zhuǎn)直徑
505mm
-
運動范圍-升降軸（Z軸）
960mm
-
運動范圍-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
340°
-
運動范圍-伸展軸（R軸）
645mm
-
速度-升降軸（Z軸）
400mm/s
-
速度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
340°
-
速度-伸展軸（R軸）
645mm
-
重復定位精度-升降軸（Z軸）
±0.1mm (3σ)
-
重復定位精度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
±0.01°(3σ)
-
重復定位精度-伸展軸（R軸）
±0.1mm (3σ)
-
潔凈度
ISO CLASS 4
-
主機重量
90kg
-
電源
VAC 220V±10
-
行程
618mm
智能制造網(wǎng)