advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
手臂結(jié)構(gòu)
增強(qiáng)手臂剛性，抑制振動(dòng)改進(jìn)本體制造工藝
降低成本，競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)個(gè)性化設(shè)計(jì)
用戶(hù)可定制手指及接口高潔凈度
優(yōu)選材料、加工以及表面處理肘部、腕部靈活
任意姿勢(shì)取放晶圓，節(jié)省空間，適應(yīng)性強(qiáng)多重安全保護(hù)
軟件控制系統(tǒng)，防止碰撞質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴(yán)格檢驗(yàn)，高壽命
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
硅晶圓搬運(yùn)
LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
結(jié)構(gòu)形式
柱坐標(biāo)型/SCARA型
-
負(fù)載-名稱(chēng)
晶圓
-
負(fù)載-直徑
φ200mm/φ300mm
-
負(fù)載-重量
≤0.5kg
-
自由度數(shù)
3
-
回轉(zhuǎn)直徑
505mm
-
運(yùn)動(dòng)范圍-升降軸（Z軸）
960mm
-
運(yùn)動(dòng)范圍-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
340°
-
運(yùn)動(dòng)范圍-伸展軸（R軸）
645mm
-
速度-升降軸（Z軸）
400mm/s
-
速度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
180°/s
-
速度-伸展軸（R軸）
<0.8s
-
重復(fù)定位精度-升降軸（Z軸）
±0.1mm (3σ)
-
重復(fù)定位精度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）
±0.01°(3σ)
-
重復(fù)定位精度-伸展軸（R軸）
±0.1mm (3σ)
-
潔凈度
ISO CLASS 4
-
主機(jī)重量
90kg
-
電源
VAC 220V±10
-
行程
618mm
智能制造網(wǎng)