用于IC行業(yè)FOUP自動化搬送、存儲，實現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉(zhuǎn)。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場設(shè)計，可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級要求；帶有豐富的安全設(shè)計和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失；全新的系統(tǒng)運動邏輯規(guī)劃，提高產(chǎn)品搬送效率；標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口，可以方便對接面板廠MCS系統(tǒng)，可實時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。
參數(shù)：
設(shè)備 | IC Stocker | |
運動軸 | 行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取 | |
有效負(fù)載 | 10kg | |
控制 | PLC+PC | |
電源供應(yīng) | VAC 220V±10% | |
電機 | 伺服電機 | |
行走 | 驅(qū)動 | 齒輪齒條+減速機+電機 |
速度 | 2.2m/s | |
提升 | 驅(qū)動 | 電機減速機+同步帶+帶輪 |
速度 | 1.75m/s | |
旋轉(zhuǎn) | 驅(qū)動 | 電機+同步帶+減速機 |
速度 | 120°/sec | |
叉取 | 驅(qū)動 | 電機減速機+同步帶+帶輪 |
上/下料時間 | 4.8s | |
叉取FOUP精度 | ±0.5mm | |
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