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      沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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      TTS-2000 EFEM(兩工位EFEM)

      參  考  價:面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產(chǎn)品型號

      品牌

      廠商性質(zhì)其他

      所在地

      更新時間:2023-02-09 09:27:43瀏覽次數(shù):511次

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      一體化程度高,自動化程度高,安全區(qū)保護,SEMI認證S2、F47,網(wǎng)絡化控制器,接口可用戶定制,擁有新松自主研發(fā)的控制器,Aligner,方便在視窗觀察的可拆卸單元門,易移動框架,帶有隔離的風扇 過濾系統(tǒng),可拆分的設備結構,從而保證設備潔凈、可靠的運行。

      EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng),可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現(xiàn)取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內(nèi)部全新的氣體導流結構,保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全。

      參數(shù):

      Input信息

      Wafer規(guī)格

      材質(zhì)尺寸

      200mm/300mm wafer

      Alignment Mark

      Notch/ Flat

      厚度

      標準wafer

      溫度

      200

      與傳送片接觸處的材質(zhì)

      陶瓷

      片盒規(guī)格(類型、廠家、段數(shù)、段間距等)

      Foup/Adaptor

      AMHS(自動物料搬送系統(tǒng))要求

      OHT

      搬送精度(Alignment精度)

      ±0.1mm

      Particle Spec

      ISO Class 1

      Throughput

      >100wfrs/h

      Stage數(shù)(LP數(shù))

      2

      Load Lock

      Stage數(shù)(LL

      2

      位置(XYZ

      兩個LL

      Wafer放置精度 X-Y

      ±0.1mm

      Wafer放置角度精度

      /

      整機規(guī)格

      參照尺寸說明

      Foot Print

      2100

      750

      2500

      重量

      1200KG

      整機設計參照標準

      SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

      軟件界面設計參考標準

      SEMI E30, E84


      真空機械手 Archer 系列

      直驅(qū)電機結構具有更高的真空特性,系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新

      大氣機械手Blade-S225

      大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用的結構加強了

      真空機械手 SM11

      直驅(qū)電機結構具有更高的真空特性,內(nèi)部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運行

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