機(jī)械手本體采用多電機(jī)同軸結(jié)構(gòu)，動作更加靈活穩(wěn)定；高重復(fù)定位精度，并具備AWC自動糾偏功能，保證傳片精度；耐真空性，可勝任高真空環(huán)境下晶圓傳片需求。直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能。在此基礎(chǔ)上，Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式，四手指結(jié)構(gòu)，雙取雙放，大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。