￥360000
伯東企業(yè)（上海）有限公司
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上海伯東代理美國KRI 射頻離子源 RFICP 140
| 參考價(jià): | ￥ 1320000 |
| 訂貨量: | 1 臺 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：337更新時(shí)間：2023-04-06 11:03:37
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產(chǎn)品簡介
離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長, 更適合時(shí)間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.
產(chǎn)品介紹
上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.
離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長, 更適合時(shí)間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.
離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.
非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕工藝.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):
型號 | RFICP 140 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >600 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 14 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 24.6 cm |
直徑 | 24.6 cm |
中和器 | LFN 2000 |
伯東KRI 考夫曼離子源 RFICP 140 應(yīng)用領(lǐng)域：
1.預(yù)清洗
2.表面改性
3.輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,
4.濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
5.離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
6.離子蝕刻 IBE
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上海伯東: 羅先生
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