產(chǎn)品簡介：
         NanoMap-500LS接觸式臺(tái)階儀/三維表面輪廓儀是傳統(tǒng)接觸式表面輪廓儀和掃描探針顯微鏡（SPM） 的*結(jié)合，它利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù)，并與壓電陶瓷（PZT）掃描*結(jié)合，可在不損失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又可呈現(xiàn)局部的三維形貌。其中樣品臺(tái)掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺(tái)，這樣可以有效解決樣品臺(tái)掃描面由于絲杠公差引起的亞微米量級(jí)測量誤差。
產(chǎn)品特性：                                                                                                  產(chǎn)品應(yīng)用：   
        雙模式操作（針尖掃描和樣品臺(tái)掃描）                                                     薄膜厚度測量
        可生成二維和三維圖像                                                                                 臺(tái)階高度測量
        nm到1m的Z軸范圍                                                                                      表面粗糙度測量
        XY掃描范圍達(dá)到150x150mm                                                                     二維薄膜應(yīng)力測量
        簡單的2步關(guān)鍵操作，用戶友好的軟件界面                                              平坦度或曲率測量
        集成彩色光學(xué)相機(jī)，在掃描過程中可直接觀察樣品                                表面輪廓（缺陷、形貌等）呈現(xiàn)