VPS-RF10小型真空等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
VPS-RF10小型真空等離子清洗機(jī)是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機(jī),擁有多層處理電極,有效提高腔體利用率,滿足多種清洗需求 。其原理是利用高頻的交變電場(chǎng)作用于真空氣體中,形成大量的等離子體,通過(guò)復(fù)雜的物理和化學(xué)過(guò)程來(lái)去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤(rùn)性,去除不同類型的污染物和雜質(zhì),從而為之后的工序奠定良好的基礎(chǔ)。
產(chǎn)品特點(diǎn):進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)、COMSOL仿真模擬優(yōu)化的放電結(jié)構(gòu),確保等離子體均勻分布
產(chǎn)品應(yīng)用:提高親水性、提高粘接性、有機(jī)物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原
產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào) | VPS-RF10 |
等離子頻率 | 13.56MHz自動(dòng)阻抗匹配 |
極限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W(可調(diào)) |
腔體尺寸 | 230(L)*270(D)*200(H)mm |
腔體容積 | 11L |
單層有效處理面積 | 210(L)×220(D)mm |
處理層數(shù) | 3層 |
極板間距 | 58mm |
腔體材質(zhì) | 進(jìn)口級(jí)316L不銹鋼 |
氣路數(shù)量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)?,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H) |