威思曼高壓電源SEM應(yīng)用的OEM模塊SEM系列高壓電源為SEM行業(yè)提供高圖像質(zhì)量和分辨率

威思曼的SEM系列是一款集成的多輸出高壓電源，專為驅(qū)動(dòng)掃描電子顯微鏡（SEM）而設(shè)計(jì)。威思曼在該應(yīng)用中的廣泛知識(shí)使我們能夠開發(fā)一系列技術(shù)平臺(tái)，可以定制以滿足SEM的苛刻要求。

主要的加速電壓是一個(gè)高穩(wěn)定性的30kV電源，集成浮動(dòng)燈絲，提取極和抑制極輸出，驅(qū)動(dòng)場發(fā)射，冷陰極和肖特基電子源，采用緊湊型解決方案，擴(kuò)展支架可安裝在19英寸機(jī)架中。所有輸出均提供超低輸出紋波，出色的穩(wěn)壓，穩(wěn)定性，溫度系數(shù)，漂移和精度。通過威思曼專有的高壓隔離技術(shù)提供相應(yīng)浮動(dòng)源的隔離和控制。

該集成SEM系列電源系統(tǒng)，客戶控制通過光纖接口完成。所有高壓安全聯(lián)鎖均采用基于故障安全硬件的設(shè)計(jì)，SEM系列電源通過CE認(rèn)證，符合適用的IEC，UL和SEMI標(biāo)準(zhǔn)。威思曼的SEM電源系統(tǒng)具有出色的性能，具有低紋波，少微放電和ppm級穩(wěn)定性，可實(shí)現(xiàn)高圖像質(zhì)量和分辨率。

典型應(yīng)用：

掃描電子顯微鏡（SEM）

電子束控制器

產(chǎn)品規(guī)格

（參考PDF規(guī)格書）

產(chǎn)品特性：

輸入電壓：

+ 24Vdc，±5％@4安培。

浪涌電流<6安培，持續(xù)1秒。

安全保險(xiǎn)絲： 5 x 20mm陶瓷保險(xiǎn)絲，可從外部更換，并標(biāo)有保險(xiǎn)絲值。

漏電流： <200μA

電壓：

相對于地，0V至-30kV滿載

電源開關(guān)：

船型開關(guān)允許從前面板開啟和關(guān)閉裝置。

環(huán)境：

工作溫度：

正常工作時(shí)環(huán)境溫度+ 10°C至+ 45°C。

該裝置將在0°C下運(yùn)行，但需要

延長預(yù)熱時(shí)間。

儲(chǔ)存溫度：

-30°C至+ 70°C

濕度：

10至90％RH，無冷凝

海拔高度：

全功率2000米ASL。對于2000 米以上的海拔高度，環(huán)境工作溫度每300米間隔線性降低1.1?C。

機(jī)械：

該裝置配有一對可拆卸的安裝法蘭; 這些允許該裝置安裝在19“機(jī)架系統(tǒng)中。

該裝置可以任何方向操作。M5 x 23mm 保護(hù)接地螺柱安裝在HV連接器附近

加速電源

輸出電壓：

-100V至-30kV，負(fù)極性。

可設(shè)定32.5kV的無負(fù)載電流的調(diào)節(jié)電壓。

在任何情況下輸出都不會(huì)超過35kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用Beam Energy轉(zhuǎn)換器，在這種情況下輸出將<60伏。

輸出電流：

200μA，20kV至30kV

輸出電流保護(hù)范圍：

250μA±10％輸出禁用并鎖定，延遲約1秒。程序電壓設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±10V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

16位DAC，分辨率0.5V，滿量程= 32,768伏

線性度：

-20至-30kV <±25V

負(fù)載調(diào)整率：

對于30μA至200μA的負(fù)載變化，<±100mV

線路調(diào)整率：

從22.8V到26.4V線路變化<±10ppm

波紋：

<50mVp-p @ 0uA至200uA，0.1Hz至20MHz

溫度系數(shù)：

從+10℃到+45℃<10ppm /℃，從+20℃到+30℃ <5ppm /℃

穩(wěn)定性：

在恒定操作條件下預(yù)熱1小時(shí)后<200mV / 15分鐘。

電壓顯示：

16位，分辨率0.5V。相對于實(shí)際輸出電壓的精度為±2％或±10V。

電流顯示：

12位，分辨率100nA，精度為±2％或±1μA。

擺動(dòng)幅度：

0％至100％調(diào)制，步長為1％，其中100％定義為光束能量輸出的±5％，最小值為±50V。峰峰值是振幅的兩倍。

擺動(dòng)周期：

666至2000毫秒。可以1毫秒的步長調(diào)節(jié)。正弦輸出，每周期16點(diǎn)。擺動(dòng)始終在零交叉處開始和停止。

儲(chǔ)存能量：

<850mJ

燈絲電源：

連接：

燈絲的中心連接到Beam Energy輸出。輸出可以設(shè)置為關(guān)閉，禁用燈絲轉(zhuǎn)換器。

燈絲電壓：

標(biāo)稱值為1.8V，值為3V

燈絲電流：

控制范圍為0.5A至3A

負(fù)載電阻：

標(biāo)稱值為0.6Ω

準(zhǔn)確性：

2至3安培之間±5mA

電流控制：

12位DAC，分辨率1mA。滿量程= 4.096安培

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

負(fù)載調(diào)整率：

在3A時(shí)，0.4Ω至1.0Ω的變化<5mA。（包括輸出線）

線路調(diào)整率：

電源電壓變化5％<1mA。

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

波紋：

0.6mA @ 3.0A時(shí)，<1mAp-p，20Hz至10kHz，<30mV pp，約100kHz

溫度系數(shù)：

<50PPM /℃

穩(wěn)定性：

<2mA / 60分鐘。在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后。

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24V。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±5％或±25mV

電流顯示：

12位，分辨率+/- 1mA，滿量程= 4.096安培。

相對于實(shí)際輸出電流的精度為±10mA。

燈絲開路報(bào)警OC：

開路檢測，Vout> 5.2±0.1伏。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

燈絲電流過流保護(hù)：

如果輸出電流超過3.15A十秒鐘，則檢測到過電流。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

提取極電源

輸出電壓：

0V至10kV（相對于加速電壓為正）。

控制范圍+ 100V至+ 10kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍700μA。

編程過流電流值：

可編程0至735μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位DAC，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV

線性：

在控制范圍內(nèi)±20V

負(fù)載調(diào)整率：

<±1V（10μA - 700μA輸出電流變化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

在10kV，700μA，0.1Hz-20MHz時(shí)<100mVp-p

溫度系數(shù)：

<50ppm/℃

穩(wěn)定性：

<0.05V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

斜率：

10V / s至1000V / s

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±1％或±20V

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±2uA

保護(hù)：

連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地。

儲(chǔ)存能量：

<150mJ

抑制極電源

電壓：

0V至1000V（相對于加速電壓為負(fù)）。

控制范圍100V至1000V。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍<100μA。

過流保護(hù)：

100μA±10％，延遲5秒，將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<2％或±6V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1024V

線性：

在控制范圍內(nèi)±5V

負(fù)載調(diào)整率：

對于10μA至100μA的負(fù)載電流變化，<120mV。

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

控制范圍<20mV pp，0.1Hz至20 MHz。

溫度系數(shù)：

<50PPM /℃

穩(wěn)定性：

<0.3V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

電壓顯示：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1.024kV。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±250mV

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

實(shí)際輸出電流精度：±10％

保護(hù)：

連續(xù)/間歇弧到加速電源或提取極電源

儲(chǔ)存能量：

<2.5mJ

PMT電源

電壓：

0V至-1300V（相對于大地電壓為負(fù)）。

控制范圍-100V至-1300V。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍<1000μA。

過流保護(hù)：

1000μA±10％，延遲5秒，將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<2％或±6V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1024V

線性：

在控制范圍內(nèi)±5V

負(fù)載調(diào)整率：

對于10μA至1000μA的負(fù)載電流變化，<120mV。

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

控制范圍<20mV pp，0.1Hz至20 MHz。

溫度系數(shù)：

<25PPM /℃

穩(wěn)定性：

預(yù)熱一小時(shí)后,±0.02%，每小時(shí)/H

電壓顯示：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1.024kV。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±250mV

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

實(shí)際輸出電流精度：±10％

保護(hù)：

連續(xù)/間歇弧到加速電源或提取極電源

儲(chǔ)存能量：

<2.5mJ

閃爍體電源

輸出電壓：

0V至10kV（相對于大地為正）。

控制范圍+ 100V至+ 10kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍200μA。

編程過流電流值：

可編程0至200μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位DAC，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV

線性：

在控制范圍內(nèi)±20V

負(fù)載調(diào)整率：

<±1V（10μA - 200μA輸出電流變化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

在10kV，200μA，0.1Hz-20MHz時(shí)<100mVp-p

溫度系數(shù)：

<25ppm的/℃

穩(wěn)定性：

<2V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

斜率：

10V / s至1000V / s

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±1％或±20V

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±2uA

保護(hù)：

連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地。

儲(chǔ)存能量：

<150mJ

透鏡電源

輸出電壓：

0V至10kV（相對于大地為正）。

控制范圍+ 100V至+ 10kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍200μA。

編程過流電流值：

可編程0至200μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準(zhǔn)）

電壓控制：

12位DAC，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV

線性：

在控制范圍內(nèi)±20V

負(fù)載調(diào)整率：

<±1V（10μA - 200μA輸出電流變化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

在10kV，200μA，0.1Hz-20MHz時(shí)<100mVp-p

溫度系數(shù)：

<25ppm的/℃

穩(wěn)定性：

<0.3V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時(shí)后

斜率：

10V / s至1000V / s

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±1％或±20V

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

相對于實(shí)際輸出電壓的精度：±2％或±2uA

保護(hù)：

連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地。

儲(chǔ)存能量：

<150mJ

真空聯(lián)鎖：真空互鎖是光學(xué)互鎖，當(dāng)光纖存在于光纖上時(shí)產(chǎn)生。當(dāng)沒有燈光時(shí)，聯(lián)鎖斷開，設(shè)備關(guān)閉所有輸出。

指示燈：

開機(jī)指示燈（前面板）：

綠色LED將亮起，表示+ 24V電源接通。該LED將在22.8至25.2 伏的范圍內(nèi)點(diǎn)亮，并在超出范圍時(shí)以1秒的周期閃爍。

真空聯(lián)鎖指示燈（前面板）：

黃色LED將亮起，表示所有真空聯(lián)鎖都已關(guān)閉。必須照亮真空互鎖LED才能使設(shè)備產(chǎn)生高壓。

保護(hù)：

所有輸出均受負(fù)載和連續(xù)短路保護(hù)，不受電弧影響。

輸出的介電強(qiáng)度測試電壓能力為36kV，但輸出不能超過該電壓。

所有低壓輸入均可防止±30伏的過壓。電源輸入具有過壓保護(hù)和反向連接保護(hù)。

過溫：

任何超過過溫條件超過十秒的半導(dǎo)體器件都會(huì)啟動(dòng)關(guān)閉并發(fā)送錯(cuò)誤信息。

關(guān)機(jī)要求：

可以獨(dú)立關(guān)閉加速電源。

燈絲電源，抑制極電源和提取極電源輸出（發(fā)射）是一起關(guān)閉。