靜態(tài)特性測試挑戰(zhàn)
隨著半導體制程工藝不斷提升,測試和驗證也變得更加重要。通常,主要的功率半導體器件特性分為靜態(tài)特性、動態(tài)特性、開關特性。靜態(tài)參數特性主要是表征器件本征特性指標,與工作條件無關的相關參數,如很多功率器件的的靜態(tài)直流參數(如擊穿電壓、漏電流、閾值電壓、跨導、壓降、導通內阻)等。
功率半導體器件是一種復合全控型電壓驅動式器件,兼有高輸入阻抗和低導通壓降兩方面的優(yōu)點:同時半導體功率器件的芯片屬于電力電子芯片,需要工作在大電流、高電壓、高頻率的環(huán)境下,對芯片的可靠性要求較高,這給測試帶來了一定的困難。市面上傳統(tǒng)的測量技術或者儀器儀表一般可以覆蓋器件特性的測試需求,但是寬禁帶半導體器件SiC(碳化硅)或GaN(氮化鎵)的技術卻極大擴展了高壓、高速的分布區(qū)間。如何精確表征功率器件高流/高壓下的I-V曲線或其它靜態(tài)特性,這就對器件的測試工具提出更為嚴苛的挑戰(zhàn)。
更高精度更高產量
并聯應用要求測試精度提離,確保一致性
終端市場需求量大,要求測試效率提高,UPH提升
更寬泛的測試能力
更寬的測試范圍、更強的測試能力
更大的體二極管導通電壓
更低的比導通電阻
提供更豐富的溫度控制方式
更科學的測試方法
掃描模式對閾值電壓漂移的影響
高壓低噪聲隔離電源的實現
高壓小電流測量技術、高壓線性功放的研究
低電感回路實現
柔性化測試能力
兼容多種模塊封裝形式
方便更換測試夾具
靈活配置,滿足不同測試需求
PMST系列功率器件靜態(tài)測試儀igbt測試機是武漢普賽斯正向設計,精益打造的高精密電壓/電流測試分析系統(tǒng),是一致能夠提供IV,CV、跨導等豐富功能的綜合測試系統(tǒng),具有高精度、寬測量范圍、模塊化設計、輕松升級擴展等優(yōu)勢,旨在全面滿足從基礎功率二極管、MOSFET. BJT、IGBT到寬禁帶半導體SiC、GaN等晶圓、芯片、器件及模塊的靜態(tài)參數表征和測試,并具有著越的測量效率、一致性與可靠性。讓任何工程師使用它都能變成行業(yè)專家。
針對用戶不同測試場最的使用需求,普賽斯全新推出PMST功率器件靜態(tài)參數測試系統(tǒng)、PMST-MP功率器件靜態(tài)參數半自動化測試系統(tǒng)、PMST-AP功率器件靜態(tài)參數全自動化測試系統(tǒng)三款功事器件靜態(tài)參數測試系統(tǒng)。
從實驗室到小批量、大批量產線的全覆蓋
從Si IGBT. SiC MOS到GaN HEMT的全國蓋
從晶圓、芯片、器件、模塊到PM的全覆蓋
產品特點
高電壓、大電流
具有高電壓測量/輸出能力,電壓高達3500V(Z大可擴展至10kV)
具有大電流測量/輸出能力,電流高達6000A(多模塊并聯)
高精度測量
納安級漏電流, μΩ級導通電阻
0.1%精度測量
模塊化配置
可根據實際測試需要靈活配置多種測量單元系統(tǒng)預留升級空間,后期可添加或升級測量單元
測試效率高
內置專用開關矩陣,根據測試項目自動切換電路與測量單元
支持國標全指標的一鍵測試
擴展性好
支持常溫及高溫測試可靈活定制各種夾具
硬件特色與性能優(yōu)勢
大電流輸出響應快,無過沖
采用自主開發(fā)的高性能脈沖式大電流源、高壓源,輸出建立過程響應快、無過沖。測試過程中,大電流典型上升時間為15us,脈寬在50-500μs之間可調。采用脈沖大電流的測試方式,可有效降低器件因自身發(fā)熱帶來的誤差。
高壓測試支持恒壓限流,恒流限壓模式
采用自主開發(fā)的高性能高壓源,輸出建立與斷開響應快、無過沖。在擊穿電壓測試中,可設定電流限制或者電壓限值,防止器件因過壓或過流導致損壞。
功率器件靜態(tài)測試儀igbt測試機工作原理
傳統(tǒng)測試系統(tǒng)的搭建,通常需要切換測試儀表和器件連接方式才能完成功率器件I-V和C-V整體參數測試,而PMST功率器件靜態(tài)物數測試系統(tǒng)內置專用開關矩陣,根據測試項目自動切換電路與測量單元,同時可靈活定制各種夾具,從而可以實現I-V和C-V全參數的一鍵化測試。只需要設置好測試條件,將器件故置在測試夾具中,就可以幫助您快速高效且晶準的完成測試工作。