型號:M+-SM300×300
噴霧式涂布機主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機械。對應(yīng)于超厚膜涂層,它是很難通過常規(guī)的旋涂機微粒的化學溶液,以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。被涂覆的部分上,可以形成均勻的膜是困難的,在傳統(tǒng)的離心器,如在基板上的傾斜表面和梯形槽頂點。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。
、特點:
藥液物也可以均勻地涂布在傾斜等不平表面上的槽基板。支持苯并環(huán)丁烯(BCB),各種聚合物等(需要稀釋液)。對應(yīng)于各種大小、形狀,還可以通過交換在樣品臺上的樣品。比傳統(tǒng)的噴涂裝置的成本低,易于操作。
工作臺面為了便于清洗的可拆卸頂板。
二、產(chǎn)品規(guī)格:固定式和移動式噴涂機噴涂的樣本格式
手動上下取片PLC控制半自動操作控制噴霧干燥的空氣和噴霧化學泵送系統(tǒng)工作臺平面可旋轉(zhuǎn)噴霧噴嘴高度范圍為80?150毫米(從樣品臺表面)范圍約400毫米的直線運動(全行程的直線運動)清潔干燥的空氣:5KG / C㎡(φ6mm氣動管連接口)電源:AC220V 1800W排風:φ100mm圓片分鐘連接管道直徑為100升/排氣重量: 150kg以下重量
外形尺寸:1300×800×800毫米的機身(H×W×D)
三、小孔圓片chcuk固定方式