紫外臭氧清洗機(UVOZONE CLEANER, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速髙效的材料表面 清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鐐,鋁,碑化氤氧化鋁等)表面 上的有機污染物。
采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選配加熱控溫 功能,以達到清洗效果。
產(chǎn)品特點
UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計時時間及加熱溫度。
自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
數(shù)字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。
可隨時手動中斷處理過程。
自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式,操作簡單方便。
上置式樣品臺設(shè)計,360度自由放置樣品,操作方便。
樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。
高強度UV燈源,波長185nm和254nm。
UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
雙重安全保護,當清洗腔打開時,系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。
帶進&出氣口雙氣路設(shè)計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。
可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。
可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。