■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■安全性·保護
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
型號 | PDC510 |
等離子模式 | RIE/DP |
電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max500W |
頻率 | 13.56MHz |
控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
反應室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
電極尺寸 | W400 x D200mm |
反應室材質(zhì) | 鋁 |
反應氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
反應氣體流量控制 | 聚合控制器 |
真空泵 | 油泵(約500L/分)標配 |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 |
外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
重量 | 約 180kg |
電源 | 三相AC200V8A |