產(chǎn)品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳片方式通過導軌絲桿傳動。

3）主軸使用伺服電機，RS485通訊精確控制轉(zhuǎn)速。

4）采用蠕動泵滴源，保證了定量滴乳膠源，可節(jié)省擴散源用量。

5）設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動涂源轉(zhuǎn)換為手動涂源。

7）熱板控溫方式為溫控表，自帶超溫保護系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便晶圓烘烤。

                    轉(zhuǎn)速                       5000RPM

                   轉(zhuǎn)速精準度                    ≤1-4%RPM

     涂源       滴膠手臂控制                  步進馬達       

                 滴膠頭位置精準                ≤0.2mm

該設備為全自動上下料涂源設備，主要應用于3-6寸晶圓涂源、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為雙軌道形式，上料、涂源、烘干、取料。