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      立式甩干機(jī)SA-SV422

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱首昂光電(上海)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地上海市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2023/10/1 8:41:45
      • 訪問次數(shù)220
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      首昂光電(上海)有限公司十五年深耕激光設(shè)備研發(fā),十五年扎根半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,造就了首昂光電深厚的技術(shù)沉淀以及的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動(dòng)化技術(shù)帶入半導(dǎo)體行業(yè)。作為批將激光應(yīng)用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的者,公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)正積極將激光技術(shù)應(yīng)用到更寬廣的半導(dǎo)體領(lǐng)域,助力中國半導(dǎo)體行業(yè)走向與自主可控。公司已儲(chǔ)備大量基礎(chǔ)加工技術(shù),正穩(wěn)步推進(jìn)一系列擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新工藝、新應(yīng)用,在多個(gè)關(guān)鍵制程設(shè)備上達(dá)到行業(yè)水平,實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
      晶圓激光切割機(jī)
      立式甩干機(jī)SA-SV4221、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)及主軸連接技術(shù)1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設(shè)備的核心功能,旋轉(zhuǎn)電機(jī)就成為設(shè)備的核心部件之一
      立式甩干機(jī)SA-SV422 產(chǎn)品信息

      立式甩干機(jī)SA-SV422

      1、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)及主軸連接技術(shù)

      1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設(shè)備的核心功能,旋轉(zhuǎn)電機(jī)就成為設(shè)備的核心部件之一。本機(jī)采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式,實(shí)現(xiàn)無極調(diào)速加減速可調(diào)。

      1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負(fù)載能力,間隙更小。軸端與轉(zhuǎn)盤間采用氣密封保護(hù),隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。

      2、工作腔

      工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成,腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術(shù),易擦洗不生銹。

      3、旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)

      3.1旋轉(zhuǎn)載體由不銹鋼轉(zhuǎn)盤和可方便更換的不銹鋼片架組成,如需更換片架,只需將片架卸下,即可更換為另一種片架。

      3.2片架采用可反轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),放置花籃時(shí)將花籃翻轉(zhuǎn)到一定角度可方便的將花籃放進(jìn)片架內(nèi)。

      3.3該旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)不僅更換方便,而且結(jié)構(gòu)簡潔,沖洗和甩干時(shí),晶片及片盒不會(huì)留下死角。

      4、層流風(fēng)干法

      晶片在旋轉(zhuǎn)過程中,產(chǎn)生同一方向的氣流,氣流由設(shè)備門蓋上方進(jìn)入至上而下的氣流方向,經(jīng)由排風(fēng)排水管道出。排風(fēng)口在上方,排水口在下方。 氣流經(jīng)由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵,滿足顆粒度要求。

      5、免沖水設(shè)計(jì)

      設(shè)備無需增加額外沖水功能,避免二次污染,加快干燥工藝時(shí)間。

      6、軸系動(dòng)平衡及減震系統(tǒng)

      硅片的生產(chǎn)中,降低生產(chǎn)過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動(dòng)過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用*的現(xiàn)場動(dòng)平衡儀,對設(shè)備的整個(gè)軸系進(jìn)行動(dòng)平衡。

      7、系統(tǒng)控制技術(shù)

      7.1控制系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器,彩色液晶觸摸屏漢顯監(jiān)控??纱鎯?chǔ)多種用戶工藝菜單。同時(shí)具有密碼保護(hù)功能,用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進(jìn)行編輯和修改,否則只能調(diào)用已經(jīng)保存工藝菜單。另外,根據(jù)用戶的反饋,增加了管理員密碼功能,以加強(qiáng)對工藝菜單的保護(hù)。

      7.2設(shè)備運(yùn)行過程中的工藝時(shí)間、轉(zhuǎn)子速度、轉(zhuǎn)速和工作狀態(tài)以及故障信息等均在觸摸屏上顯示,使用戶對設(shè)備狀況做到一目了然。


      立式甩干機(jī)SA-SV422

      序號

      項(xiàng)目

      主要性能指標(biāo)和參數(shù)

      1、

      電壓

      220VAC

      2、

      頻率

      50Hz

      3、

      功率

      3.5KW

      4、

      加工晶片規(guī)格

      150MM及100MM

      5、

      工作工位數(shù)

      4個(gè)(2個(gè)6寸 2個(gè)4寸)

      6、

      工作建議轉(zhuǎn)速

      轉(zhuǎn)速

      1400轉(zhuǎn)/分

      1800轉(zhuǎn)/分

      7、

      排水口管徑

      32mm(upvc)

      8、

      排風(fēng)口徑

      110mm

      9、

      主要功能

      甩干、烘干

      10、

      外形尺寸

      810*810*900mm具體尺寸以實(shí)物為準(zhǔn)


      立式甩干機(jī)SA-SV422

      該系列臥式甩干機(jī)具有較高潔凈度的沖洗甩干功能,主要應(yīng)用于太陽能電池片、半導(dǎo)體晶圓片、藍(lán)寶石片等材料的干燥工藝。


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