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      臥式甩干機SA-SV702-C

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱首昂光電(上海)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地上海市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/10/1 8:44:51
      • 訪問次數(shù)110
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      首昂光電(上海)有限公司十五年深耕激光設備研發(fā),十五年扎根半導體行業(yè)應用,造就了首昂光電深厚的技術沉淀以及的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動化技術帶入半導體行業(yè)。作為批將激光應用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的者,公司技術團隊正積極將激光技術應用到更寬廣的半導體領域,助力中國半導體行業(yè)走向與自主可控。公司已儲備大量基礎加工技術,正穩(wěn)步推進一系列擁有自主知識產(chǎn)權的新工藝、新應用,在多個關鍵制程設備上達到行業(yè)水平,實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
      晶圓激光切割機
      臥式甩干機SA-SV702-C為本公司針對(含)6”以下制程之需求,使用自制電機,參照美規(guī)設計之全新旋干機,采垂直式放置晶片,并可控制0.3微塵顆粒量20粒,其主要三大功能為清洗,高速脫水,低速烘干
      臥式甩干機SA-SV702-C 產(chǎn)品信息

      臥式甩干機SA-SV702-C

      為本公司針對(含)6”以下制程之需求,使用自制電機,參照美規(guī)設計之全新旋干機,采垂直式放置晶片,并可控制0.3微塵顆粒量20粒,其主要三大功能為清洗,高速脫水,低速烘干。


      1、設備用于6英寸硅片甩干工藝。

      2、每批處理晶圓數(shù)量為50,25片/腔體。

      3、甩干機為上下雙工藝腔體設計,腔室內(nèi)采用不銹鋼。

      4、轉(zhuǎn)子的動平衡為片盒中的硅片從0~25片。

      5、轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。

      6、顆粒度增加值<20 (0.3 um)  。


      用于4寸~6寸晶片的清洗甩干,能根據(jù)客戶要求定制。

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