主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
TWINSCAN NXT:1970Ci步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級(jí)浸沒(méi)式光具,專(zhuān)為在成熟節(jié)點(diǎn)批量生產(chǎn) 300 毫米晶圓而設(shè)計(jì)。
通過(guò)結(jié)合高生產(chǎn)率和出色的圖像分辨率,TWINSCAN NXT: 1970Ci光刻機(jī)可滿(mǎn)足雙重和多重圖案化要求,為我們的客戶(hù)提供具有成本效益的解決方案。
01. 生產(chǎn)力
在該系統(tǒng)中,新穎的氣體壽命延長(zhǎng)減少了機(jī)器停機(jī)時(shí)間,并加強(qiáng)了經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 6 kHz ArF 激光技術(shù),以提供高功率以支持高吞吐量。浸沒(méi)罩設(shè)計(jì)改進(jìn)拓寬了使用無(wú)面漆的低接觸角抗蝕劑優(yōu)化缺陷率的窗口。
與 TWINSCAN NXT:1970Ci光刻機(jī)維護(hù)計(jì)劃程序一起,綜合服務(wù)包通過(guò)利用系統(tǒng)空閑時(shí)間執(zhí)行所需的日常維護(hù)來(lái)優(yōu)化系統(tǒng)可用性。
TWINSCAN NXT:1970Ci光刻機(jī)平面雙載物臺(tái)的剛度增加,提供了更高的速度和加速度,從而允許更快的步進(jìn)和掃描序列。
加上更快的卡盤(pán)更換,新設(shè)計(jì)在生產(chǎn)力方面向前邁出了一大步。此外,對(duì)可維護(hù)性的嚴(yán)格關(guān)注導(dǎo)致設(shè)計(jì)在需要時(shí)易于訪(fǎng)問(wèn)。
02. 光學(xué)
TWINSCAN NXT:1970Ci光刻機(jī)包括一個(gè)1.35NA 193nm折反射投影鏡頭,可實(shí)現(xiàn)低至 40nm(C-quad)和 38 nm(偶極子)的生產(chǎn)分辨率,以及支持全 26x33 mm視場(chǎng)大小、4X減少和與現(xiàn)有設(shè)計(jì)的標(biāo)線(xiàn)兼容性。
鏡頭元件配備了用于校正光學(xué)像差的操縱器,從而為低 k1 應(yīng)用實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力。FlexRay Prepared Illuminator通過(guò)擴(kuò)展傳統(tǒng)和離軸照明的范圍來(lái)實(shí)現(xiàn)的靈活性,以實(shí)現(xiàn)用于低 k1 成像的高級(jí)瞳孔整形。
03. 成像性能
NXT:1970Ci光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn) ≤ 2.0nm 的單機(jī)(專(zhuān)用卡盤(pán))全晶圓覆蓋覆蓋,以及 ≤ 3.5 nm 的匹配機(jī)(參考晶圓)全晶圓覆蓋覆蓋。
該系統(tǒng)的平行 ILIAS (PARIS) 傳感器允許客戶(hù)對(duì)整個(gè)投影狹縫中的光學(xué)像差進(jìn)行平行測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)、改進(jìn)的標(biāo)線(xiàn)加熱校正和動(dòng)態(tài)鏡頭加熱校正。