智能制造網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>智能制造裝備>印刷設(shè)備>曝光機(jī)>>ASML KrF曝光機(jī)，二手光刻機(jī)AT: 850B

ASML KrF曝光機(jī)，二手光刻機(jī)AT: 850B

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/8/31 17:32:57
訪問(wèn)次數(shù)296

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品點(diǎn)擊查看電話

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室，坐落于城之向陽(yáng)地——城陽(yáng)。自2011年成立之初，便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里，公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷，最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，使我們?cè)谖磥?lái)的發(fā)展中，有底氣的大踏步前進(jìn)。目前，佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù)，不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售，更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯，再見(jiàn)時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔，隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè)，從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品，從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國(guó)內(nèi)，放眼，我們聯(lián)合了包括美國(guó)賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國(guó)實(shí)驗(yàn)室，并且積累了大量的科研資料，在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命，以客戶為中心的經(jīng)營(yíng)理念，為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

2001年12月5日，ASML推出了款具有110nm分辨率的KrF(248nm)StepScan300mm雙級(jí)光刻系統(tǒng)

ASML KrF曝光機(jī)，二手光刻機(jī)AT: 850B 產(chǎn)品信息

2001年12月5日，ASML推出了款具有110nm分辨率的KrF (248 nm) Step&Scan300mm雙級(jí)光刻系統(tǒng)。TWINSCAN AT:850B光刻機(jī)采用Carl Zeiss Starlith 850高級(jí)投影光學(xué)器件，數(shù)值孔徑 (NA)為0.80，這是KrF光刻機(jī)系統(tǒng)中可用的NA。

ASML光刻機(jī), KRF曝光機(jī)

AT:850B光刻機(jī)具有行業(yè)的每小時(shí)95（300 毫米晶圓）的吞吐量，是 ASML 的 TWINSCAN雙級(jí)300毫米光刻平臺(tái)的成員。由于兩個(gè)階段同時(shí)工作，該平臺(tái)允許在另一個(gè)晶圓曝光的同時(shí)進(jìn)行晶圓對(duì)齊和調(diào)平，從而大大提高了生產(chǎn)力和準(zhǔn)確性。對(duì)準(zhǔn)和調(diào)平臺(tái)與曝光操作的分離實(shí)際上消除了非生產(chǎn)性開(kāi)銷時(shí)間，同時(shí)確保了制造精度。臺(tái)AT:850B系統(tǒng)將于本月交付給亞洲的一個(gè)主要客戶。

ASML KrF曝光機(jī)參數(shù)

ASML 預(yù)計(jì) AT:850B 將成為一個(gè)大批量生產(chǎn)系統(tǒng)，用于廣泛的設(shè)備制造，包括110nm 及以下設(shè)計(jì)規(guī)則的非常*的存儲(chǔ)器和邏輯生產(chǎn)。ASML的高性能200mm光刻系統(tǒng)PAS 5500/850B™ 中也提供相同的Starlith 850高數(shù)值孔徑投影光學(xué)器件。隨著TWINSCAN AT:850B光刻機(jī)和PAS 5500/850B系光刻機(jī)的加入，ASML現(xiàn)在為300毫米或200毫米晶圓廠生產(chǎn)提供的擁有價(jià)值解決方案，在每種制造技術(shù)（i-line、KrF）中具有的NA和ArF。

“這些新的高NA系統(tǒng)是個(gè)使用KrF技術(shù)實(shí)現(xiàn)110nm特征尺寸芯片的批量生產(chǎn)，”ASML營(yíng)銷和技術(shù)執(zhí)行副總裁Martin van den Brink說(shuō)：“通過(guò)擴(kuò)展經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的KrF技術(shù)，我們正在為我們的客戶提供一種強(qiáng)大的成本效益手段，以縮小現(xiàn)有芯片設(shè)計(jì)并更快地將的芯片推向市場(chǎng)?！?/span>

關(guān)鍵詞：CAN