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      ASML ARF曝光機(jī),二手翻新步進(jìn)掃描光刻機(jī)PAS 5500-750C

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2023/8/30 7:54:40
      • 訪問次數(shù)372
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      青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
      十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們?cè)谖磥淼陌l(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
      產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
      佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

      PAS5500/750FDUV步進(jìn)掃描系統(tǒng)使用成熟的248nmKrF技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)130nm的大規(guī)模生產(chǎn)
      ASML ARF曝光機(jī),二手翻新步進(jìn)掃描光刻機(jī)PAS 5500-750C 產(chǎn)品信息

      PAS5500/750F DUV步進(jìn)掃描系統(tǒng)使用成熟的248nmKrF技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)130nm的大規(guī)模生產(chǎn)。它結(jié)合了改進(jìn)的0.7NA 4倍還原鏡頭的成像能力與調(diào)平系統(tǒng)中的多點(diǎn)創(chuàng)新,以及空中II照明技術(shù),包括類星體、多極照明和可選的多重曝光能力。該系統(tǒng)配備了TTL對(duì)齊和ATHENA,以提高后端工藝層的對(duì)齊精度,配備了一個(gè)小于25nm的長期單機(jī)覆蓋。

      步進(jìn)掃描光刻機(jī)PAS 5500-750C進(jìn)一步減少開銷時(shí)間,并結(jié)合提高客戶作業(yè)的生產(chǎn)率,提供了130片/h晶圓(200毫米)的生產(chǎn)吞吐量。應(yīng)用2kHz20WKrF激光器可以獲得的操作成本。

      ASML ARF曝光機(jī),二手翻新步進(jìn)掃描光刻機(jī)PAS 5500-750C

      特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):

      Variable, 0.7 NA Deep UV Projection Lens
      Production resolution down to 130 nm.
      Step and Scan
      Large field size, better CD control and lower lens aberrations.
      AERIAL II Illumination with QUASAR and Optional Multiple Exposure Capability
      Provides the ultimate flexibility in illumination modes at maximum throughput.
      PAS 5500 Step-and-Scan Body
      Commonality with i-line and 193-nm Step-and-Scan tools for economic mix-and-match.
      8-Spot Level Sensor
      Improved focus and leveling under production conditions.
      ATHENA Advanced Alignment
      Increased alignment accuracy process latitude.
      Includes 2kHz 20W KrF Laser Technology with VariableLaser Frequency Control
      The perfect combination of high laser power for high throughput and efficient use of laser pulses for

      the lowest possible laser Cost of Operation.

      ASML ARF曝光機(jī),二手翻新步進(jìn)掃描光刻機(jī)PAS 5500-750C


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