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      上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備

      參考價(jià)1000000-10000000
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱伯東企業(yè)(上海)有限公司
      • 品       牌其他品牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地上海市
      • 廠商性質(zhì)代理商
      • 更新時(shí)間2023/4/26 9:56:24
      • 訪問次數(shù)255
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      伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
      上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供進(jìn)口真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念,已累計(jì)為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
            上海伯東代理品牌包含:德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī),美國(guó)HVA 真空閥門,美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī),離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
         上海伯東作為真空品牌**代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù),* 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師;擁有*的拆解,維修,校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

      德國(guó) Pfeiffer 真空產(chǎn)品, 美國(guó) inTEST 高低溫測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱, 美國(guó) Polycold 冷凍機(jī),美國(guó) HVA 真空閥門
      上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3%, 客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.
      上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備 產(chǎn)品信息
      剝離成形電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 Lift-Off  E-beam Evaporation System

      剝離成形電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 Lift-Off  E-beam Evaporation System
      對(duì)于有些金屬, 我們很難使用蝕刻 Etching 方式來(lái)完成想要的電路圖案 Circuit Pattern時(shí), 就可以采用 Lift-Off 制程來(lái)做出想要的金屬圖案. 在此過程中, 電子束蒸發(fā)于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層與基材上, 最終在洗去犧牲層, 以得到其電路圖案.

      上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3%, 客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.
      剝離成形電子束設(shè)備 Lift-Off E-beam
      針對(duì) Lift-Off 制程設(shè)計(jì)載臺(tái)水冷或液態(tài)氮冷卻

      Lift-Off 制程步驟:

      1. 準(zhǔn)備基板
      2. 犧牲薄膜層的沉積
      3. 對(duì)犧牲層進(jìn)行圖案化 (例如蝕刻), 以形成反向圖案
      4. 沉積目標(biāo)材料
      5. 洗去犧牲層以及目標(biāo)材料的表面
      6. 最終圖案層:
      ①基材
      ②犧牲層
      ③目標(biāo)材料

      Kri 離子源

      Lift-Off 制程步驟:


      上海伯東剝離成形電子束設(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
      客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓
      薄膜均勻度 小于±3%
      水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝)
      自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
      具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
      基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C)功能

      腔體
      客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
      腔體可至 650 mm
      腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

      選件
      可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起

      應(yīng)用領(lǐng)域
      Lift-Off 制程

      對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來(lái), 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

      若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍?cè)O(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
      上海伯東: 羅先生


      關(guān)鍵詞:機(jī)械手
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