潔凈機(jī)器人
產(chǎn)品介紹潔凈機(jī)器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機(jī)器人。隨著生產(chǎn)技術(shù)水平不斷提高,其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求也日益苛刻,很多現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)都要求在潔凈環(huán)境進(jìn)行,潔凈機(jī)器人是潔凈環(huán)境下生產(chǎn)需要的關(guān)鍵設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
□潔凈潤(rùn)滑技術(shù):通過(guò)采用負(fù)壓抑塵結(jié)構(gòu)和非揮發(fā)性潤(rùn)滑脂,實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境無(wú)顆粒污染,滿足潔凈要求。
□高速平穩(wěn)控制技術(shù):通過(guò)軌跡優(yōu)化和提高關(guān)節(jié)伺服性能,實(shí)現(xiàn)潔凈搬運(yùn)的平穩(wěn)性。
□控制器的小型化技術(shù):根據(jù)潔凈室建造和運(yùn)營(yíng)成本高,通過(guò)控制器小型化技術(shù)減小潔凈機(jī)器人的占用空間。
□晶圓檢測(cè)技術(shù):通過(guò)光學(xué)傳感器,能夠通過(guò)機(jī)器人的掃描,獲得卡匣中晶圓有無(wú)缺片、傾斜等信息
技術(shù)參數(shù)
機(jī)器人型號(hào) | 到達(dá)距離 | 稱(chēng)重能力 | 防護(hù)等級(jí) |
HD 6640-180 | 2.55m | 180kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640-235 | 2.55m | 235kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640-205 | 2.75m | 205kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640-185 | 2.8m | 185kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640-130 | 3.2m | 130kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640ID-200 | 2.55m | 200kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
HD 6640ID-170 | 2.75m | 170kg | IP 67, 鑄造專(zhuān)家, 潔凈室ISO 5級(jí) |
軸運(yùn)動(dòng) | 6640工作范圍 | 6640ID工作范圍 | 速度 |
軸1旋轉(zhuǎn) | +170° to -170° | +170° to -170° | 100- 110 |
軸2手臂 | +85° to -65° | +85° to -65° | 90°/s |
軸3手臂 | +70° to -180° | +70° to -180° | 90°/s |
軸4手腕 | +300° to -300° | +300° to -300° | 170- 190°/s |
軸5彎曲 | +120° to -120° | +100° to -100° | 120- 140°/s |
軸6翻轉(zhuǎn) | +360° to -360° | +300° to -300° | 190- 235°/s |
——End——
