產(chǎn)品簡介:PCE-3等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,在射頻電源的作用下,去除速率可達(dá)10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,將對生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機(jī)配有一個(gè)真空泵,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。
PCE-3等離子清洗機(jī)操作視頻
產(chǎn)品名稱 | PCE-3等離子清洗機(jī) |
產(chǎn)品型號 | PCE-3 |
主要特點(diǎn) | 1、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。 2、桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電壓:110V/220V、50Hz/60Hz (請?zhí)崆斑x定),小于100W 2、射頻輸出頻率:13.56MHz 3、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V,10mA,6.8W;中功率設(shè)定—700V,15mA,10.5W; 高功率設(shè)定—720V,25mA,18W 4、等離子腔室:Ø75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸 5、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定 6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr(0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流 量,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣 |
清洗及蝕刻 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵) |
注意事項(xiàng) | 不能使用可燃性氣體 |
可選配件 | 本司研發(fā)的電阻真空計(jì) 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1 Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。
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