Edwards 有源倒磁控管真空計(jì) (AIM) 在一個(gè)緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合,均已證明這些真空計(jì)堅(jiān)固可靠。
此真空計(jì)具有線性輸出,易于與計(jì)算機(jī)或 PLC 結(jié)合使用
- 適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的所有需要可靠穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機(jī)和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等各種應(yīng)用。