加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2

INFICON  Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計

的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷

傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有

的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感

器屏蔽，用于保護(hù)真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品

的影響。先進(jìn)的電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可

配置信號調(diào)節(jié)，另外還有EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選

擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶

貴的工具空間。INFICON  Edge是同類產(chǎn)品中最小的真空

測量儀器。

優(yōu)勢

·緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間

·易于集成， EtherCAT,  各種滿刻度和法蘭，標(biāo)配兩個

設(shè)定點(diǎn)

·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

·診斷端口用于快速維修和維護(hù)

·兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使

用壽命

·信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子

應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應(yīng)用范圍

·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程

EdgeTM CDG100D2

訂購資料

1)    優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置

2)  不能使用現(xiàn)場總線接口

粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品

其他法蘭類型可按要求提供。

EdgeTM CDG100D2

規(guī)格

1) 在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性，運(yùn)行兩小時后無溫度效應(yīng)

2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!”

3) 增加10.…90% FS

4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

EdgeTM CDG100D2

EdgeTM CDG100D2

尺寸mm(inch)