寬量程真空計 (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測量結(jié)果,并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案,所需空間和連接硬件均減少了一半,這對很多應(yīng)用來說是非常重要的優(yōu)勢。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn),包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和全面的診斷功能。WRG 是經(jīng)濟(jì)高效的真空管理解決方案,可以與 Edwards 控制器一起使用,也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。
- 任何需要在很寬的范圍內(nèi)測量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實現(xiàn)此目標(biāo)的非常簡單和極為經(jīng)濟(jì)高效的手段。
- 對于可能要將真空計直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言,線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。
- WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用領(lǐng)域中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之間花費(fèi)的時間非常多,Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計和 AIM 潘寧真空計,因為這樣將提高真空計在應(yīng)用中的可靠性。