產(chǎn)品特點(diǎn):
?脈沖能量到800mJ
?采用磁助器激勵(lì)回路設(shè)計(jì),延長(zhǎng)閘流管壽命
?內(nèi)置能量反饋系統(tǒng),能量穩(wěn)定性好
?內(nèi)部觸發(fā)/外部觸發(fā)
應(yīng)用:激光沉積薄膜、精細(xì)加工、材料表面處理、激光退火
規(guī)格:
PLD30/PLD20:1500×450×880mm PLD20L:1600×405×880mm (230kg)
技術(shù)參數(shù) | |||||
介質(zhì)氣體 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | 308 | 351 | |
單脈沖能量(mJ) | PLD30 | 200 | 500 | 300 | 200 |
PLD20 | 300 | 650 | 400 | 300 | |
PLD20L | 400 | 800 | 500 | 400 | |
平均功率(W) | PLD30 | 5 | 14 | 8 | 5 |
PLD20 | 5 | 12 | 8 | 5 | |
PLD20L | 7 | 14 | 9 | 7 | |
重復(fù)頻率(Hz) | PLD30 | 30 | |||
PLD20 | 20 | ||||
PLD20L | 20 | ||||
脈沖寬度(FWHM, ns) | PLD30 | ~25 | |||
PLD20 | |||||
PLD20L | |||||
光斑尺寸(mm)(V*H) | PLD30 | ~24×8 | |||
PLD20 | |||||
PLD20L | |||||
能量穩(wěn)定性(sigma,% ) | 1 (248nm輸出時(shí)測(cè)量) | ||||
發(fā)散角(mrad)(V*H) | ~3×1 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
交互方式 | 控制系統(tǒng):RS232(液晶屏/PC) | ||||
外部觸發(fā):光信號(hào) |