產(chǎn)品特點(diǎn):
?高重復(fù)頻率,能量穩(wěn)定性好
?設(shè)計(jì)緊湊,體積小
?內(nèi)部觸發(fā)/外部觸發(fā)
應(yīng)用:激光沉積薄膜、精細(xì)加工、材料表面處理、激光退火
規(guī)格
技術(shù)參數(shù) | |||
介質(zhì)氣體 | ArF | KrF | XeCl |
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | 308 |
單脈沖能量(mJ) | 100 | 200 | 100 |
平均功率(W) | 8 | 18 | 8 |
重復(fù)頻率(Hz) | 100 | ||
脈沖寬度(FWHM, ns) | ~15 | ||
能量穩(wěn)定性(sigma %) | 2 | ||
光斑尺寸(mm)(V*H) | 14×5 | ||
發(fā)散角(mrad)(V*H) | ~3×1 | ||
產(chǎn)品尺寸(mm)(L*W*H) | 1015×537×582 | ||
重量(kg) | 100 | ||
電源要求 | 220V, 50Hz, 10A | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
交互方式 | 控制系統(tǒng):RS232(液晶屏/PC) | ||
外部觸發(fā):電信號(hào) |