產(chǎn)品特點(diǎn):
?大功率/大能量輸出
?全固態(tài)開關(guān),壽命長(zhǎng),能量穩(wěn)定性好
?金屬-陶瓷腔結(jié)構(gòu),氣體壽命長(zhǎng)
?主要用于ELA(激光退火)、LLO(激光剝離)、大面積薄膜制備
應(yīng)用:光纖光柵刻寫、精細(xì)加工、精細(xì)打標(biāo)、光譜分析
技術(shù)參數(shù) | |||
介質(zhì)氣體 | ArF | KrF | XeCl |
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | 308 |
單脈沖能量(mJ) | 30 | 60 | 40 |
平均功率(W) | 5 | 10 | 6 |
重復(fù)頻率(Hz) | 200 | ||
脈沖寬度(FWHM, ns) | ~15 | ||
能量穩(wěn)定性(sigma %) | 2 | ||
光斑尺寸(mm)(V*H) | 10×5 | ||
發(fā)散角(mrad)(V*H) | ~2×1 | ||
產(chǎn)品尺寸(mm)(L*W*H) | 1015×537×582 | ||
重量(kg) | 100 | ||
電源要求 | 220V, 50Hz, 10A | ||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | ||
交互方式 | 控制系統(tǒng):RS232(液晶屏/PC) | ||
外部觸發(fā):電信號(hào) |