1.材料要求:有機/無機/納米材料... ;粘度1~10000cPs。
2.特征要求:微納點/點陣;微米極線/纖維;納米級薄膜。
3.制造要求:微納級分辨率;R2R常溫制造。
規(guī)格名稱 | HEIJ-P:專業(yè)級微納圖案化平臺 | |
設備特點 | 一體機、專業(yè)級平臺、可定制化 | |
供墨系統(tǒng) | 精密氣壓+流量泵 雙供墨 | |
高壓電源 | ±5000V@多種波形 | |
打印頻率 | ~10000Hz | |
打印基臺 | 210×210mm2,真空吸附、加熱~100℃ | |
打印速度 | 3DOF@500mm/s | |
定位/重復精度 | ±3μm / ±1μm | |
視覺系統(tǒng) | 高倍觀測相機+精密定位相機 | |
圖形格式 | 支持矢量圖、位圖,內(nèi)置基本圖元 | |
工藝指標 | 點噴最小直徑 <1μm、打線最小線寬 <1μm、制膜最小厚度 ~50nm |