智能制造網(wǎng)>產(chǎn)品庫>通用設備>清洗設備>等離子清洗機>>旋風等離子清洗機

旋風等離子清洗機

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司
品牌
型號Tergeo
所在地深圳市
廠商性質(zhì)代理商
更新時間2020/3/15 13:54:11
訪問次數(shù)691

產(chǎn)品標簽:

等離子清洗機清洗機

在線詢價收藏產(chǎn)品點擊查看電話

聯(lián)系我們時請說明是智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

索取相關資料

公司介紹主營產(chǎn)品

First-Nano System GmbH

2003年創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學（Dresden University of Technology）
2008年香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
2015年上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負責中國區(qū)業(yè)務
2018年深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司，更好的為中國南方區(qū)市場

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液

展開顯示更多內(nèi)容

光學透鏡和儀器，實驗室器具，專用儀器儀表，電化學設備和部件

產(chǎn)品簡介在線詢價

旋風等離子清洗機
PIE 代表 Plasma ，Ion ，Electron
PIE 專業(yè)致力于等離子刻蝕，清洗，表面處理和離子，電子束產(chǎn)品的應用。
PIE INC 成立于等離子研究小組在勞倫斯伯克利國家實驗室。經(jīng)過15年在硅谷研究經(jīng)驗，我們的SmartClean™ *的技術已經(jīng)被世界上*大學，研究所，實驗室使用。

旋風等離子清洗機產(chǎn)品信息

Tergeo plasma cleaners 旋風等離子清洗機

特征:

清洗方式：沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；遠程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM、TEM樣品清洗；脈沖放電后產(chǎn)生等離子體的平均功率小于0.5watt，可以處理極精致樣品。
操作方法：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)順序執(zhí)行；亦可手動操作。
等離子傳感器：雙等離子強度傳感器監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上。
*工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。
腔體材料：鋁法蘭，石英腔體
石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；外徑120mm；深度280mm
樣品架：2mm厚高純度石英板
射頻天線：外部射頻電極和天線設計減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。
射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源，自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體。
工藝氣路：高達三個質(zhì)量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個額外的排氣口。?英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指，沒有手寫筆的要求。
軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個清理步驟。