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早在1879年人們就在金屬中發(fā)現(xiàn)了霍爾效應(yīng),1910年就有人用鉍制成了霍爾元件,用以測量磁場。但由于這種效應(yīng)在金屬中十分微弱,當時并沒有引起什么重視。1948年后,由于半導體技術(shù)的迅速發(fā)展,人們找到了霍爾效應(yīng)較為顯著的半導體材料——鍺(Ge),接著,在1958年前后,人們又對化合物半導體——銻化銦(InSb)、砷化銦(InAs)進行了大量的研究,并制成了較為滿意的元件。這時霍爾效應(yīng)以及它所具有的廣泛的應(yīng)用才受到了人們普遍的重視。
簡介
霍爾元件是一種基于霍爾效應(yīng)的磁傳感器。用它們可以檢測磁場及其變化,可在各種與磁場有關(guān)的場合中使用?;魻栐哂性S多優(yōu)點,它們的結(jié)構(gòu)牢固,體積小,重量輕,壽命長,安裝方便,功耗小,頻率高(可達1MHZ),耐震動,不怕灰塵、油污、水汽及鹽霧等的污染或腐蝕。
材料
霍爾元件可用多種半導體材料制作,如Ge、Si、InSb、GaAs、InAs、InAsP以及多層半導體異質(zhì)結(jié)構(gòu)量子阱材料等等。
其中N型鍺容易加工,其霍爾常數(shù)、溫度性能、輸出線性都較好,應(yīng)用非常普遍銻化銦元件由于在高溫時霍爾常數(shù)大,所以輸出較大,但對溫度最敏感,尤其在低溫范圍內(nèi)溫度系數(shù)大;砷化銦的霍爾常數(shù)較小,溫度系數(shù)也較小,輸出線性好;砷化鎵的溫度特性和輸出線性好,是較理想的材料,但價格較貴。不同材料適用于不同場合,銻化銦適用于作為敏感元件,鍺和砷化銦霍爾元件適用于測量指示儀表。
霍爾元件結(jié)構(gòu)
霍爾元件的外形如下圖所示,它是由霍爾片、4根引線和殼體組成?;魻柶且粔K矩形半導體單晶薄片(一般為4mm×2mm×0.1mm),在它的長度方向兩端面上焊有a、b兩根引線,稱為控制電流端引線,通常用紅色導線。其焊接處稱為控制電流極(或稱激勵電流),要求焊接處接觸電阻很小,并呈純電阻,即歐姆接觸(無PN結(jié)特性)。在薄片的另兩側(cè)端面的中間以點的形式對稱地焊有c、d兩根霍爾輸出引線,通常用綠色導線。其焊接處稱為霍爾電極,要求歐姆接觸,且電極寬度與基片長度之比小于0.1,否則影響輸出?;魻栐臍んw上用非導磁金屬、陶瓷或環(huán)氧樹脂封裝。圖(b)為霍爾元件結(jié)構(gòu)示意圖,圖(c)是霍爾元件符號。
霍爾元件
目前,的霍爾元件材料是鍺(Ge)、硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦(lnAs)和不同比例銦和磷酸銦組成的ln型固熔體等半導體材料。值得一提的是,20世紀80年代末出現(xiàn)了一種新型霍爾元件——超晶格結(jié)構(gòu)(砷化鋁/砷化鎵)的霍爾器件,它可以用來測10-T的微磁場??梢哉f,超晶格霍爾元件是霍爾元件的一個質(zhì)的飛躍。
工作原理
霍爾元件應(yīng)用霍爾效應(yīng)的半導體。
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