CCD傳感器所基于的技術(shù)是MOS電容器(金屬氧化物半導(dǎo)體)。如果能量超過間隙能量的光子被耗盡區(qū)吸收,就會產(chǎn)生電子-空穴對。電子留在耗盡區(qū),而空穴朝向接地電極??墒占呢?fù)電荷(電子)量與施加的電壓、氧化物厚度和柵電極表面成正比??梢源鎯Φ碾娮涌倲?shù)稱為“阱容量”。當(dāng)波長增加時,光子在增加的深度處被吸收。它顯著限制了對高波長的響應(yīng)。目前,可用的傳感器可以從遠(yuǎn)紅外線到X射線發(fā)揮作用。
CCD寄存器由一系列門組成。以系統(tǒng)和順序的方式處理柵極電壓,將電子像信使一樣從一個柵極轉(zhuǎn)移到另一個柵極。對于電荷轉(zhuǎn)移,耗盡區(qū)必須相互重疊。耗盡區(qū)呈梯度,梯度應(yīng)重疊,以便發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。
每個門都有自己的隨時間變化的控制電壓。電壓是一種稱為“時鐘”或“時鐘信號”的方波信號。首先,在門1施加電壓,光電子被收集在井1(b)中。當(dāng)在柵極2施加電壓時,電子像瀑布一樣向阱2移動(c)。這個過程很快,兩個孔之間的電荷迅速平衡(d)。當(dāng)柵極1的電壓降低時,勢阱降低,所有電子再次級聯(lián)流入阱2(e)。最后,當(dāng)柵極1上施加的電壓接近零時,所有電子都在阱2(f)中。這個過程重復(fù)幾次,直到電荷轉(zhuǎn)移到所有的移位寄存器。當(dāng)柵極電壓低時,它充當(dāng)勢壘,而當(dāng)電壓高時,可以存儲電荷。
一個像素可以由多個門(從2到4,甚至更多)構(gòu)成,有時也稱為系統(tǒng)階段。根據(jù)時鐘信號(參見下文),對于相同的像素尺寸,像素表面的50%可用于四相系統(tǒng)的井,三相系統(tǒng)為33%。
CCD傳感器矩陣是一系列按列排列的寄存器。
在每個像素通過光電效應(yīng)曝光和產(chǎn)生電荷后,電荷通過通道或阻滯塊存儲在行中或列中,耗盡區(qū)僅在一個方向上重疊(列的下降,讀取線的水平)。電荷轉(zhuǎn)移首先發(fā)生在行與行之間,發(fā)生在內(nèi)部,然后是像素間柵極跳躍。
在每一列的末尾,都有一個水平像素寄存器。該寄存器一次收集一條線,然后以串行模式將電荷包傳輸?shù)捷敵龇糯笃鳌T谙乱恍羞M(jìn)入串行寄存器之前,整個水平串行寄存器必須與檢測節(jié)點(diǎn)同步。這就是為什么所有矩陣都需要獨(dú)立的垂直和水平時鐘。
數(shù)千次傳輸之間的相互作用減少了輸出信號。轉(zhuǎn)移電荷的容量由電荷轉(zhuǎn)移效率(CTE)。雖然可以在傳感器表面按像素使用任意數(shù)量的傳輸點(diǎn)(門),但我們通常使用其中的兩個到四個,甚至是只需要一個時鐘的虛擬相位系統(tǒng)。
在每個提到的系統(tǒng)中,該過程的步是將電荷包轉(zhuǎn)換為可測量的電壓。這是通過浮動二極管或浮動擴(kuò)散實現(xiàn)的。用作電容器的二極管產(chǎn)生與電子數(shù)n e成正比的電壓。然后,信號可以由獨(dú)立于CCD傳感器的電子處理器進(jìn)行放大、處理和數(shù)字編碼。
對于多個矩陣,可以在串行寄存器中移動多條充電線。類似地,也可以將多個元素從串行寄存器移動到輸出節(jié)點(diǎn)之前的求和門。它被稱為“裝箱”、“超級像素化”,甚至“電荷收集”。裝箱增加了輸出信號和信號動態(tài)范圍。裝箱增加了輸出信號和信號動態(tài)范圍,但以傳感器空間分辨率為代價。由于它增加了信噪比,在分辨率不是很重要的情況下,合并對于低光級應(yīng)用很有趣。串行寄存器和輸出節(jié)點(diǎn)需要更高容量的井來裝箱。如果輸出電容在每個像素后都沒有更新,那么它會積累電荷。
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