利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
選型須知
1、 傳感器、變送器的選擇
用戶根據(jù)自己所測壓力的性質(zhì),首先應(yīng)確定選擇表壓(相對于當(dāng)?shù)卮髿鈮?、差壓、壓力或負(fù)壓品種。如果測量液位,還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內(nèi)的液位就應(yīng)該選用差壓產(chǎn)品。
2、 產(chǎn)品量程的確定
從產(chǎn)品安全考慮,一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜,整個測量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過載壓力不得超過產(chǎn)品允許的zui大過載。測量動態(tài)管路液體壓力時,還應(yīng)考慮水垂效應(yīng),適當(dāng)增大產(chǎn)品載量。
3、 產(chǎn)品精度選擇
產(chǎn)品等級按多項(xiàng)參數(shù)分檔,檔級越高,價格越貴。用戶可依據(jù)所檢測工況要求各項(xiàng)和某單項(xiàng)參數(shù)精度指標(biāo),以便用較低的價格實(shí)現(xiàn)較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項(xiàng)精度指標(biāo)是采用zui小二乘法或端基平移法計(jì)算的。選用傳感器時,精度等級確定應(yīng)根據(jù)測量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的zui大誤差選項(xiàng)取。有時還應(yīng)考慮零位時漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。
4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍
有些系列的變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償范圍在單項(xiàng)產(chǎn)品介紹中已標(biāo)出。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶,還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過補(bǔ)償區(qū)使用,溫度系數(shù)指標(biāo)可能會超標(biāo),但仍可使用。長期在溫度極限區(qū)工作,產(chǎn)品壽命將大大縮短。
5、 差壓傳感器、變送器的選擇
通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下,雖然擴(kuò)散硅傳感器都可同樣用于負(fù)差壓,一般兩引壓端基本對稱,但負(fù)壓端一般不另標(biāo)定,如用戶要求兩引壓端高對稱性,需特別告知。低壓端在系統(tǒng)中有可能出現(xiàn)的超負(fù)量程使用。
6、頻響特性
擴(kuò)散硅傳感器固有頻率相對于其它產(chǎn)品較高,除此之外更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)影響和傳感器結(jié)構(gòu)基體剛體的尺寸影響,后者不可能不限長,故主要還是引壓腔影響。
7、與被測介質(zhì)的匹配
傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性,為了獲得*的使用效果,不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞,用戶在選型定貨時應(yīng)明白介質(zhì)的準(zhǔn)確名稱、濃度、溫度。
產(chǎn)品安裝使用注意事項(xiàng)
螺紋連接的產(chǎn)品在安裝和拆卸時,必須用扳手緊六方操作,安裝時不能擰的過緊,嚴(yán)禁夾持其它部位安裝、拆卸,避免損壞相關(guān)聯(lián)結(jié)部件。引壓孔端不得有尖硬物伸入,以免損毀敏感膜或隔離膜,嚴(yán)禁敲打、撞擊、摔跌。
擴(kuò)散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進(jìn)行消除,可采用軟件歸零法、差動輸入修整法、T型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等。
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