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勻膠機(jī)-針對實(shí)驗(yàn)室使用
勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度
旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,
又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、
旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,
利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,
也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)
勻膠機(jī)技術(shù)指標(biāo):
1.主軸轉(zhuǎn)速: 200~8000RPM,精度±1RPM,轉(zhuǎn)速可調(diào)。
2.主軸加速度: 30000RPM/S,連續(xù)可調(diào)(只對涂膠)
3.工藝工步時(shí)間: 0~999.9秒,設(shè)定增量±0.1秒
4.電源條件: AC220V±10%,50Hz,總功率1.5KW
5.真空條件: 真空度≤-0.085Mpa,
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