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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      富泰微科學(xué)儀器(上海)有限公司


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      日立 離子研磨儀 IM4000II

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-06-17 12:07:12瀏覽次數(shù):251次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:27條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:李經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      產(chǎn)品介紹 日立離子研磨儀標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型IM4000Ⅱ能夠進(jìn)行截面研磨和平面研磨。還可通過低溫控制及真空轉(zhuǎn)移等各種選配功能,針對不同樣品進(jìn)行截面研磨。

      詳細(xì)介紹

      離子研磨儀 IM4000II.jpg



      高效率的截面研磨


      IM4000II配備截面研磨能力達(dá)到500 µm/h*1以上的高效率離子槍。因此,即使是硬質(zhì)材料,也可以高效地制備出截面樣品。


      *1   在加速電壓6 kV下,將Si片從遮擋板邊緣突出100 µm并加工1小時的深度


      樣品:Si片(2 mm厚)
      加速電壓:6.0 kV
      擺動角度:±30°
      研磨時間:1小時


      截面研磨時如果擺動的角度發(fā)生變化,加工的寬度和深度也會發(fā)生變化。下圖為Si片在擺動角度為±15°下進(jìn)行截面研磨后的結(jié)果。除擺動角度以外,其他條件與上述加工條件一致。通過與上面結(jié)果進(jìn)行對比后,可發(fā)現(xiàn)加工的深度變深。


      對于觀察目標(biāo)位于深處的樣品來說,能夠?qū)悠愤M(jìn)行更快速的截面研磨。


      樣品:Si片(2 mm厚)
      加速電壓:6.0 kV
      擺動角度:±15°
      研磨時間:1小時



      復(fù)合型研磨儀


      截面研磨


      • 1、即使是由不同硬度以及研磨速度材質(zhì)所構(gòu)成的復(fù)合材料,也可以通過IM4000Ⅱ制備出平滑的研磨面


      • 2、優(yōu)化加工條件,降低因離子束所致樣品的損傷


      • 3、可裝載20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的樣品


      平面研磨

      • 直徑約為5mm范圍內(nèi)的均勻加工

      • 應(yīng)用領(lǐng)域廣泛

      • 可裝載直徑50 mm × 高度25 mm的樣品

      • 可選擇旋轉(zhuǎn)和擺動(±60度,±90度的擺動)2種加工方法

      平面研磨的主要用途

      • 去除機(jī)械研磨中難以消除的細(xì)小劃痕和形變

      • 去除樣品表層部分

      • 消除因FIB加工所致的損傷層



      產(chǎn)品選配項:


      低溫控制功能*1

      將液氮裝入杜瓦罐中,以此作為冷卻源間接冷卻樣品。IM4000Ⅱ配有溫度調(diào)節(jié)控制功能,以防止樹脂和橡膠樣品過冷


      • *1 需與主機(jī)同時訂購。



      真空轉(zhuǎn)移功能

      離子研磨加工后的樣品可以在不接觸空氣的狀態(tài)下直接轉(zhuǎn)移到SEM*1、AFM*2上。真空轉(zhuǎn)移功能與低溫控制功能可同時使用。(平面研磨真空轉(zhuǎn)移功能不適用低溫控制功能)。

      • *1 僅支持帶有真空轉(zhuǎn)移交換倉的日立FE-SEM

      • *2 僅支持真空型日立AFM。


      觀察加工過程的體式顯微鏡

      右圖為用于觀察樣品加工過程的體式顯微鏡。搭載了CCD相機(jī)的三目型顯微鏡能夠在顯示器上進(jìn)行觀察。也可配置雙目型體式顯微鏡。



      產(chǎn)品規(guī)格:


      主要內(nèi)容
      使用氣體氬氣
      氬氣流量控制方式質(zhì)量流量控制
      加速電壓0.0 ~ 6.0 kV
      尺寸616(W) × 736(D) × 312(H) mm
      重量主機(jī)53 kg+機(jī)械泵30 kg
      截面研磨
      研磨速度(Si材料)500 µm/h*1以上
      樣品尺寸20(W)×12(D)×7(H)mm
      樣品移動范圍X±7 mm、Y 0 ~+3 mm

      離子束間歇加工功能

      開啟/關(guān)閉 時間設(shè)定范圍

      1秒 ~ 59分59秒
      擺動角度±15°、±30°、±40°
      廣域截面研磨功能-
      平面研磨
      加工范圍φ32 mm
      樣品尺寸Φ50 X 25 (H) mm
      樣品移動范圍X 0~+5 mm

      離子束間歇加工功能

      開啟/關(guān)閉 時間設(shè)定范圍

      1秒 ~ 59分59秒
      旋轉(zhuǎn)速度1 rpm、25 rpm
      擺動角度±60°、± 90°
      傾斜角度0 ~ 90°


      *1 將Si片從遮擋板邊緣突出100 µm并加工1小時的深度。


      選配項


      項目內(nèi)容
      低溫控制功能*2通過液氮間接冷卻樣品,溫度設(shè)定范圍:0°C ~ -100°C
      超硬遮擋板使用時間約為標(biāo)準(zhǔn)遮擋板的2倍(不含鈷)
      加工過程觀察用顯微鏡放大倍數(shù) 15× ~ 100× 雙目型、三目型(可裝CCD)


      *2 需與主機(jī)同時訂購。冷卻溫度控制功能在使用時,部分功能可能使用有限。


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