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富泰微科學(xué)儀器（上海）有限公司
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所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2024-06-17 12:02:34瀏覽次數(shù)：197次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)產(chǎn)品介紹 大口徑、小占地面積 – Verifire XL 是一款一站式干涉儀工作站，可輕松測試直徑達(dá) 300 mm 的平面光學(xué)元器件。 這款集成的系統(tǒng)易于使用，其重型傾斜平臺(tái)可提供可重復(fù)的零件定位，而無需定制夾具。 占地面積小，內(nèi)置隔振系統(tǒng)，并配有控制器顯示器支架，只占用很小的車間地板空間。
Verifire™ XL
大口徑立式干涉儀
大口徑、小占地面積 – Verifire XL 是一款一站式干涉儀工作站，可輕松測試直徑達(dá) 300 mm 的平面光學(xué)元器件。
這款集成的系統(tǒng)易于使用，其重型傾斜平臺(tái)可提供可重復(fù)的零件定位，而無需定制夾具。
占地面積小，內(nèi)置隔振系統(tǒng)，并配有控制器顯示器支架，只占用很小的車間地板空間。
獨(dú)立的大口徑工作站，用于測量直徑達(dá) 12 英寸（300 mm）的平面光學(xué)表面面形，如鏡子、窗片、半導(dǎo)體晶片、晶圓卡盤和密封平面。
主要特點(diǎn)
● 12 英寸（300 mm）口徑，下視式立式設(shè)計(jì)，便于零件處理和對(duì)準(zhǔn)
● 一站式的獨(dú)立系統(tǒng)，包括干涉儀主機(jī)、被動(dòng)隔振系統(tǒng)、測試件對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和 1/15 波 PVr 透射平面鏡（TF）
● 緊湊的尺寸，限度地減少了對(duì)寶貴地面空間的占用
● 集成的隔振和 QPSI™ 技術(shù)允許在生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行可靠的測量
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